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发表于 2007-4-10 04:00:21
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大家可以参考一下我公司的监控设备,现在国内已有30多家用户了,珠海佳能,南通宇迪,北京理工大学,天津8358所等很多用户.下面是设备的一些特点,有需要详细了解的,可以联系13693572892,010-58051723,xlli@goldway.com.cn
0 N7 b$ {( z9 [ CFilmonitor AM 3000智能化全自动镀膜监控系统的优点:
( e8 E! K8 A. L5 r 这是一套基于高精度单波长光学膜厚测量的系统,实现了光学镀膜的全自动控制。本系统吸收了国外同类产品的技术特点、考虑了国产镀膜机的技术和配置特点,完全国内设计,采用了先进的网络数据通讯,真正做到国产全自动光学控制镀膜机,完美地展现了国产设备高性能低价格的优点。这些优点包括:
7 m$ B' \0 Z+ Z6 ]3 S$ |" z' |1. Filmonitor AM 3000可以完全自动控制镀膜的整个过程以及相关设备的控制;(包括真空计,温控仪,晶控、离子源等设备)
, m- n8 a) n; {4 J! m& _5 J2. Filmonitor AM 3000可以控制规整及非规整膜系,传统光控只能控制规整膜系;4 L0 R5 {2 i' R* ^% Z
3. 在镀膜过程中,可以根据膜系膜层的不同分别用光控、晶控,手动判停轮换式控制,判停方法灵活多变;3 G; j) K* m7 }! I9 t& w3 X
4. Filmonitor AM 3000控制精度可以达到0.1%,而传统光控的控制精度只有2%左右;2 P' Y! h+ s# }2 h% l2 _; O
5. Filmonitor AM 3000可以自动选择控制波长,而传统光控需要手动调整;& _3 N2 Z' J, j( w1 ~1 P8 \
6. 系统可以自动测定膜料在镀制过程中的实际折射率,可以更精确的判断膜层厚度,同时为膜系的理论计算提供了可靠依据;
7 R* r- g9 \+ D" Z7. 智能化全自动镀膜监控系统还具有镀膜过程中不断修正膜层的停点,拟合晶控仪的修正因子、以及实时自动报警等功能;
# J( W% q$ C/ B7 u1 B7 t0 V3 P8. 由于智能化全自动镀膜监控系统自动化程度高,判断精确,故对操作人员的经验要求较低,人为因素对镀膜影响较小,并且还保留了镀膜中的详细数据,对于科研工作也有很大帮助,是完全适合工业生产及科研工作的需求。( ?7 Y& B" E" S
Filmonitor BS-C 宽光谱镀膜监控系统的优点:
z0 |" T5 `5 I" z这个系统利用了400-800nm(或1000nm)范围内在几千个数据点上同时监控镀膜过程中的透过率或者反射率的即时变化,得到几乎是所见即所得的光学镀膜产品的光谱透过或者反射率。比之于常规的膜厚测量设备具有不可比拟的优点。这些优点包括:& Q; X1 W7 V8 x8 P: u5 Q
1. 直接观测最为关心的薄膜透过率或者反射率曲线,而不是间接地测量膜层厚度;
. I# G1 A5 ~2 v l- q/ N0 V, e5 d9 p% A2. 实时分析镀膜过程中的光谱曲线,及时做出误差分析,通过修改折射率或膜层结构使镀膜结果更接近理论设计;. E# f# }# Z7 j
3. 显示和控制非常直观、简单,成膜质量不再依赖于操作工人的经验,提高质量和不同批次间的质量同一性;
' `% l1 _$ S j! }$ O7 ?, P4. 软件的镀膜过程存储功能,对于大批量生产来说,保证了质量同一性。而对于小批量频繁更换镀制膜系来说,大量减少了工艺试验的时间;0 `$ L5 n7 D1 P9 f# o! L( }* K
5. 软件的膜料折射率和吸收测量功能,使得膜系的调整和工艺的调整变得简单;) }0 ^0 w" W* Y$ ^8 W
6. 软件的数据回放功能可以更好更直接的分析镀膜过程中出现的问题;
7 G( y' K+ P/ J8 H7. 软件的目标光谱曲线功能最大地消除了理论光谱曲线与实际光谱曲线之间的误差,对于成功镀制任意膜系来说都能得到更高的可靠性;
7 R2 f/ @8 T' }8. 辅助判停功能增加了色坐标功能,使得无论是重视透反射率还是成膜的颜色都能起到很大的帮助作用。 |
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