镀膜，大家都用什么设备来监控膜厚呢？

txlyaya · 发表于 2006-8-10 21:56:19

我家的MAXTEK 360C 为什么设定厚度和实际基片测量厚度差别大，而且设定厚度
1500A，测量的片子有时候是750A， 2100A，

哪里有问题了呢？

帮忙分析，谢谢

黑子 · 发表于 2006-8-13 22:31:37

我们用的是IC/5控制膜厚的!

txlyaya · 发表于 2006-8-14 03:01:09

设定膜厚和实际需要（测量得到）的一样么？

frankier · 发表于 2006-8-26 20:13:00

你测的地方刚好是最高和最低点吧呵呵偶也是猜的

zxp791 · 发表于 2006-9-6 07:53:04

我做的膜层经常也是设计的膜厚和实测的差别很大

ererer222 · 发表于 2006-9-14 02:29:50

我们使用光控来控制厚度

dinghaiyi · 发表于 2006-9-22 21:29:06

To txlyaya
你测的是同一材料相同设定参数下的膜层厚度呢?
还有你设的Tooling是多少呢?

汪侃 · 发表于 2006-9-23 19:06:59

晶振转换器有故障

chencp2001 · 发表于 2006-9-28 03:18:30

[s:1] [s:1]

九门 · 发表于 2006-10-8 20:55:00

Tooling

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