tfcale怎么运用到镀膜机上啊

xiaojiang · 发表于 2010-11-10 08:15:07

急问大家用tfcale设计出的参数怎么运用到镀膜机上啊比如说sio2光学厚度为2.34 怎么镀出来呢我用的是光电极值法检测膜厚的困恼很久啊忘解答我的 qq 362991533

书生123456 · 发表于 2010-12-3 11:33:28

用晶控片，显示值与实际值有关系，需要测量实际值，找到他们之间的关系。

z1206l · 发表于 2010-12-2 07:54:09

是指哪方面？
晶控，光控，反射还是投射？

hong151453 · 发表于 2010-12-2 08:26:52

是啊，设计好的物理膜厚，如何用到镀膜机上?

hong151453 · 发表于 2010-12-2 08:29:24

比如说，设计出来的一条曲线，理论上很好，如何换算成晶控的厚度？镀膜机上程序设计均是以Ic/5 输入数值的，如何变换？

gds · 发表于 2010-12-2 09:51:02

1.先精确计算tooling值
2.将膜系设计软件的计算厚度输入，注意单位转换：nm－》KA
3.对计算结果反演
4.。。。。

hong151453 · 发表于 2010-12-3 09:28:09

能说更详细一点吗？能发一点相关资料吗？QQ 178582764，谢了

wxcad1 · 发表于 2010-12-3 10:27:54

怎么运用到镀膜机上啊，我也不懂啊，gds请教了

H_jins · 发表于 2011-4-15 13:00:42

哥哥,你有TFC吗???我不知道怎么下载啊!~你用的是哪一款啊

H_jins · 发表于 2011-4-15 13:00:51

哥哥,你有TFC吗???我不知道怎么下载啊!~你用的是哪一款啊

		自动登录	找回密码
密码			注册

[求助] tfcale怎么运用到镀膜机上啊