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[求助] tfcale怎么运用到镀膜机上啊  

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发表于 2010-11-10 08:15:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
急问大家用tfcale设计出的参数怎么运用到镀膜机上啊   比如说sio2光学厚度为2.34  怎么镀出来呢    我用的是光电极值法  检测膜厚的      困恼很久 啊    忘解答   我的 qq  362991533
发表于 2010-12-3 11:33:28 | 显示全部楼层
用晶控片,显示值与实际值有关系,需要测量实际值,找到他们之间的关系。
发表于 2010-12-2 07:54:09 | 显示全部楼层
是指哪方面?& Q( x$ \- l1 V; ]* s! _
晶控,光控,反射还是投射?
发表于 2010-12-2 08:26:52 | 显示全部楼层
是啊,设计好 的物理膜厚,如何用到镀膜机上?
发表于 2010-12-2 08:29:24 | 显示全部楼层
比如说,设计出来的一条曲线,理论上很好,如何换算成晶控的厚度?镀膜机上程序设计均是以Ic/5 输入数值的,如何变换?
发表于 2010-12-2 09:51:02 | 显示全部楼层
1.先精确计算tooling值/ q# Y2 p3 Z) T/ M( H( O
2.将膜系设计软件的计算厚度输入,注意单位转换:nm-》KA
$ B, q0 u6 D2 d9 x3.对计算结果反演8 x3 |1 H# h* f3 Z8 e
4.。。。。
发表于 2010-12-3 09:28:09 | 显示全部楼层
能说更详细一点吗?能发一点相关资料吗?QQ 178582764,谢了
发表于 2010-12-3 10:27:54 | 显示全部楼层
怎么运用到镀膜机上啊,我也不懂啊,gds请教了
发表于 2011-4-15 13:00:42 | 显示全部楼层
哥哥,你有TFC吗???我不知道怎么下载啊!~你用的是哪一款啊
发表于 2011-4-15 13:00:51 | 显示全部楼层
哥哥,你有TFC吗???我不知道怎么下载啊!~你用的是哪一款啊
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