AR膜理论设计和生产实践T曲线才差异性来源

Gery小叶 · 发表于 2013-10-4 11:47:57

冒昧问下何谓7/4波长，我们都是用400-500nm的厚膜的T% 用macloed 进行推算Fitting
n&k Valve 值不准个人见解：镀膜机的设计差异
① Carrier 行进中的镀膜，欲要用macloed fitting n&k 就需要高膜厚--制作膜厚的机台条件和你做AR的机台参数肯定改变（Power O2 气体分压Exp：H2O）
②独立Chamber式的镀膜,Carrier静止不动, 只改变其镀膜时间，可以保证很多的机台参数无很大的变异在测试及AR测试更甚者在生产中。

Gery小叶 · 发表于 2013-10-4 11:49:24

才13RMB ,在问个问题,你认为的过渡层的解释是如何？

rollo_tomasi · 发表于 2013-11-25 08:45:12

Tooling值很重要，较薄层很敏感，比如设计的120A，说不定你镀到128A才会到达理论设计曲线，那么在同一材料Tooling值设定后，你需要对单层做微调。AR曲线好不好，需要测其剩余反射率！

√感觉这东西 · 发表于 2014-6-11 01:42:29

ferry · 发表于 2017-9-23 07:32:48

对应特薄的膜层，如何测量其tool值？

yifeng602 · 发表于 2018-3-29 00:58:54

还要考虑下膜厚均匀性,基底的吸收,以及减小双折射率效应

大白吃 · 发表于 2018-6-15 08:57:09

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