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光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 如何提高SiO2薄膜的折射率

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楼主: zitong

[求助] 如何提高SiO2薄膜的折射率

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发表于 2018-3-31 07:53:30 | 显示全部楼层

路过看看

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发表于 2018-4-18 03:02:35 | 显示全部楼层

增加SiH4的量减少O2的量就好了比例要慢慢摸索我这边用ICPECVD

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发表于 2018-7-10 03:29:23 | 显示全部楼层

离子源减少氧气增加氩气，氩气能量更大，可以提高SiO2的聚集密度。

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发表于 2019-5-28 08:54:24 | 显示全部楼层

谢谢分享

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发表于 2021-8-29 14:18:54 来自手机 | 显示全部楼层

学习了

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