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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 如何提高SiO2薄膜的折射率
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楼主: zitong

[求助] 如何提高SiO2薄膜的折射率

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发表于 2018-4-18 11:02:35 | 显示全部楼层
增加SiH4的量 减少O2的量就好了  比例要慢慢摸索  我这边用ICPECVD
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发表于 2018-7-10 11:29:23 | 显示全部楼层
离子源减少氧气增加氩气，氩气能量更大，可以提高SiO2的聚集密度。
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