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[转贴] APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除

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发表于 2009-8-2 09:09:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除4 E* b5 X7 y: g% X) _3 C
樊剑鸣 叶勇进中国空空导弹研究院,河南洛阳030信箱21分箱471009摘 要:分析了APSI104真空镀膜机等离子源的故障现象,给出了等离子源故障诊断与排除方法。[著者文摘]4 C5 a' l6 B+ t+ s$ v0 G* Q

) X5 d8 {4 g! u2 Q关键词:真空镀膜机 等离子源 加热器5 H* H3 K" c3 r
分类号: TP2[著者标引]文献标识码:B文章编号:栏目信息:维护与修理
1 Q1 {0 l3 E9 s& p相关文献:主题相关 全文快照   

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发表于 2009-9-10 01:45:27 | 显示全部楼层
看看是什么东东
发表于 2009-9-11 10:53:26 | 显示全部楼层
学习一下" A6 I9 j6 z. b& b5 A/ F- D( i; ]
学习一下
发表于 2009-10-7 10:16:44 | 显示全部楼层
希望有用啊、、、、
发表于 2009-10-15 05:02:01 | 显示全部楼层
LOOKLOOK                    0 P8 M* I7 ]" |* k& [0 O
看看看看
发表于 2009-10-19 22:55:02 | 显示全部楼层
学习下,谢楼主分享!
发表于 2009-10-23 23:36:51 | 显示全部楼层
看下 好东西
发表于 2009-11-8 10:37:39 | 显示全部楼层
多谢了,学习中
发表于 2009-11-16 10:12:13 | 显示全部楼层
学习一下,希望有用
发表于 2010-1-20 11:19:33 | 显示全部楼层
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