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[转贴] APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除

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发表于 2009-8-2 09:09:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除0 }2 N9 ^6 D5 g3 x7 {# D
樊剑鸣 叶勇进中国空空导弹研究院,河南洛阳030信箱21分箱471009摘 要:分析了APSI104真空镀膜机等离子源的故障现象,给出了等离子源故障诊断与排除方法。[著者文摘]
7 |8 |' `  x2 `0 ]4 O% b# Z0 S
6 o& F, U1 O9 `/ S2 d关键词:真空镀膜机 等离子源 加热器
  k% t( V0 d8 K分类号: TP2[著者标引]文献标识码:B文章编号:栏目信息:维护与修理  }; Q4 C9 n1 y- b" E5 ]5 C
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发表于 2009-9-10 01:45:27 | 显示全部楼层
看看是什么东东
发表于 2009-9-11 10:53:26 | 显示全部楼层
学习一下( f) k/ `& ]0 g
学习一下
发表于 2009-10-7 10:16:44 | 显示全部楼层
希望有用啊、、、、
发表于 2009-10-15 05:02:01 | 显示全部楼层
LOOKLOOK                    
& K: V9 s. C. W& m/ e看看看看
发表于 2009-10-19 22:55:02 | 显示全部楼层
学习下,谢楼主分享!
发表于 2009-10-23 23:36:51 | 显示全部楼层
看下 好东西
发表于 2009-11-8 10:37:39 | 显示全部楼层
多谢了,学习中
发表于 2009-11-16 10:12:13 | 显示全部楼层
学习一下,希望有用
发表于 2010-1-20 11:19:33 | 显示全部楼层
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