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APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除

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发表于 2009-8-2 01:09:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除. R% ~: c% _0 t4 ?( C4 F% T! Q
樊剑鸣 叶勇进中国空空导弹研究院,河南洛阳030信箱21分箱471009摘 要:分析了APSI104真空镀膜机等离子源的故障现象,给出了等离子源故障诊断与排除方法。[著者文摘]" ?7 S7 |' u# ?" K; [; ]
9 B8 g" I3 C" J
关键词:真空镀膜机 等离子源 加热器
% g1 m0 O# X3 G分类号: TP2[著者标引]文献标识码:B文章编号:栏目信息:维护与修理
3 E8 G% ~3 D% k相关文献:主题相关 全文快照   

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35
发表于 2009-9-9 17:45:27 | 显示全部楼层
看看是什么东东
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108
发表于 2009-9-11 02:53:26 | 显示全部楼层
学习一下
/ V5 d6 I; b" W" J学习一下
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41
QQ
发表于 2009-10-7 02:16:44 | 显示全部楼层
希望有用啊、、、、
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57
发表于 2009-10-14 21:02:01 | 显示全部楼层
LOOKLOOK                    1 `8 O' a4 w- g! n" X
看看看看
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150
QQ
发表于 2009-10-19 14:55:02 | 显示全部楼层
学习下,谢楼主分享!
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发表于 2009-10-23 15:36:51 | 显示全部楼层
看下 好东西
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116
发表于 2009-11-8 02:37:39 | 显示全部楼层
多谢了,学习中
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30
发表于 2009-11-16 02:12:13 | 显示全部楼层
学习一下,希望有用
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368
发表于 2010-1-20 03:19:33 | 显示全部楼层
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