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APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除. ?9 T. l* b4 {# f9 f: H/ `4 A7 H
樊剑鸣 叶勇进中国空空导弹研究院,河南洛阳030信箱21分箱471009摘 要:分析了APSI104真空镀膜机等离子源的故障现象,给出了等离子源故障诊断与排除方法。[著者文摘]
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+ S. I4 w( X4 P* J: y关键词:真空镀膜机 等离子源 加热器4 i1 C$ S8 F9 k- d: x# ?$ `
分类号: TP2[著者标引]文献标识码:B文章编号:栏目信息:维护与修理5 ]9 e! | S# q9 B Z7 E o! Z, a, K
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