[求助!!]如何解决膜层牢固度问题!

7861123 · 发表于 2008-6-5 07:20:17

将真空时间加强
你的真空度是多少啊

yupo54 · 发表于 2009-8-14 15:38:37

自己琢磨

beneq · 发表于 2009-8-16 18:59:09

可以先在基底上镀上一层底漆材料，用来加强要镀的薄膜附着力。
我们的ALD技术可以先沉积一层粘附性很强的材料，作为过渡层来增强要镀的薄膜粘附性。
感兴趣可以联系我们13564790412

gpx007 · 发表于 2009-8-19 23:36:27

使用离子源辅助火或抽高真空在镀膜！

wazxq · 发表于 2009-8-24 18:35:58

G-lens上镀膜主要还是依靠离子源。。

wxgxwwf · 发表于 2009-9-8 22:33:28

你牢固度如何测得？采用胶带拉还是盐水试验。

wxgxwwf · 发表于 2009-9-8 23:08:40

1、检查真空度是否准确，正空抽素如何。最好在2.0*10-3PA的真空下做。
2、离子源处理后表面会很粗糙，尽量在高真空打离子源，采用霍尔还是考夫曼？离子速是否均匀。
3、蒸发材料时，检查真空度，确定材料放气量尽量在高真空蒸度
4、降低蒸发速率
我们可以探讨013916620585

cswmsc · 发表于 2009-9-14 01:32:05

如果是三台设备同时出问题，你应该考虑是共性问题，仔细回忆最近设备工艺原材料有什么变化，这是其一；其次是验证清洗环节——牢固度与衬底的洁净度关系很大。

zhi_ma · 发表于 2009-9-18 19:40:16

1.测量温度差距（内外）是否很大 2.膜层牢固和真空度、基片清洁干净、膜系设计、膜厚都有关系请说明确

scott3180 · 发表于 2009-9-30 14:47:40

大幅度四个发发

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