镀膜完成后遇到的hazy问题

102054079

大家好，最近在镀膜时遇到了一些困难，希望大家帮忙一起讨论下。
1 u9 A. H& K$ h2 b: e/ q! u1 l1，材料：SiO2, Ti2O3
4 y* c3 D3 y8 ~& H; G& D& S同样的条件下镀了之后，有一到两盘镜片中存在区域性的膜异色，请问大家有遇到过这种情况吗？还希望大家能够帮我一起分析下，找出问题的原因。谢谢。

awoo

jinbo8125 你好！
最近很忙，没有上来看看，我已经仔细看了你的问题。
下面是我的见解：
0 ]: E- z0 F1 L
1、首先Shincron的镀膜机性能我们可以不用怀疑的；

2、基片抛光的精度是肯定有关的，这个我已经实验过了。不过对你而言，实现起来可能没有我们容易，毕竟你是做工业生产的，每一步操作的改进都要和运作成本相联系，我想只要达到二级抛光度应该就可以了。
0 c% D1 Z' Z4 W2 E. ]) B
3、清洗方法是肯定有关系的，这个没错。同种方法Haze时有时无，那可以作个统计分析：根据不同的清洗方法的Haze出现的几率来优化清洗工艺。

% w& J& |2 r- E# H9 F" u9 k8 z3 n4、超静间里的空气湿度有没有监控？周围环境湿度的影响对Haze出现有很大的影响：环境潮湿会导致真空腔壁以及基片表面吸附水汽，烘烤的目的也在此，就是希望真空腔和基片表面的水汽脱附，然后被抽去。2～3h 应该要吧：1100真空腔那么大，那几个halogen灯至少这么长时间，才可以使腔内升到一定的温度并且维持一段时间，温度在200摄氏度左右比较合适。
, C4 Q/ _( \' f
5、还有一个就是，我们在操作中发现：刚镀好时，不要急于取片子，这时 膜的温度很高，很容易吸附空气中的水汽形成Haze，要等到片子完全冷下来，才能打开真空腔，不过对你们来说，时间就是Money。

我们这边用的也是RAS－1100c，不过是以做科学研究为主要的，至于如何养活它，自然有办法。^_^
! R. _- }9 w9 A$ Z1 a& Z* W) y5 _1 |- u
希望以后能和你多多交流，我的邮件是zhshw@mail.ustc.edu.cn.

jinbo8125

看到awoo在线了，呵呵

6 g0 w# a. K, V+ \有经过这段时间的观察，我还是最终把主要的原因归结到环境的湿度上来，最近我们这边空气一直比较干燥，超净间经常湿度都在10-20%之间，挺好的没有Haze情况出现，不过前几天稍微下了点雨，湿度一上升，就有了少量的haze出现，不过不是很严重，随着天气的变化又好了。所以我感觉，主要还是湿度的影响，不过通过清洗工艺的改变可能会制约这种情况haze的出现。

5 I/ o8 h* _0 s0 R) j1 t  I! h烘烤，对于我们来说这么长时间，几乎不可能采用，当然冷却也是一个问题。
6 o, B: ^3 s1 G
! R: ?. I9 S0 g1 j抛光，都是公司自己在做应该没什么问题的，不过板材来说，因为抛光的难度，一般都是从厂家直接拿的货吧，最容易出现，可能和本身的抛光程度有一定的关系。

weimao_liu

您好!
: X9 k2 h3 Z7 i9 j6 N     我从事镀膜工作有14年.本人一直负责膜系设计及具体的镀制工艺工作.曾经用过南光/北仪/台湾镀膜机(包括光学镀膜机和溅射镀膜机),本人对镀膜机的使用/维护及保养都非常精通.
     我于1995年--2000年在西南技术物理研究所工作,曾经研究的科研课题有: 激光陀螺膜/窄带干涉滤光片/抗激光损伤阈值/红外增透膜及反射膜,本人在恩师周九林教授的指导下负责膜系设计及具体的镀制工艺工作;于2000年--2005年在东骏激光从事YAG/LINBO3/四价铬/铒玻璃等等晶体的AR膜/HR膜及各种不同类型激光倍频膜的膜系设计及具体的镀制工艺工作;于2005年--2007年在新加坡独资企业登颠科技公司从事数码产品的AR膜/IR-cut膜的膜系设计及具体的镀制工艺工作,任镀膜技术主管和生产主管;于2008年初至今在电子科技大学工作,本人主要负责科研工作的膜系设计及具体的镀制工艺工作.(在此其间,我曾向很多客户提供冷光介质膜/红外增透膜、各类长波通.短波通薄膜/红膜/兰膜/MGF2膜/铝膜/铬膜/银膜/金膜等等成熟的镀制工艺并使其顺利投产)
    我真诚的希望能够与需要镀膜技术支持(镀膜工艺/膜系设计/镀膜技术难题的解决等等)的公司有合作机会!
- E* F0 ^, g% T! b               祝您工作顺利!
( ~/ M2 t' w- G, d  b5 L                       刘伟: 15828148238

27676995