|
|
发表于 2010-8-11 04:06:00
|
显示全部楼层
我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com 6\\jhDP@`9
" R& j* K7 L7 nG.CkceWRn
8 @* {- m2 ]: q- z9 R测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 JDi\\?m d.
9 p P m( i: Z) k( f[I*zZ` 0 ^! u2 u( h; n* p/ G
产品规格 HE>6A|rgDr
! y3 p9 Y' \; R3 R波长范围：250nm到1100 nm {G _ :#cep 0 n9 H: M! \8 u: x
光斑尺寸：500μm至5mm `;?`XC"m 7 l2 L9 G% x- w/ o7 }- \/ p
样品尺寸：100mmx100mm QahM)Gb 1 z! }1 {! q- S( O% w. E7 \
基板尺寸：最多可至50毫米厚 cj=6_k 0 |& o$ I2 v9 Y$ i2 c4 _
测量厚度范围*：5nm-50μm 6Z2a5zO8
2 q k/ _5 F9 s6 U1 [, T/ C0 v测量时间：最快2毫秒 o Ho@rGU
+ t: e3 V! k) T! h精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） pP JhF8Dt
2 L6 g. B5 X, l2 _4 W, M. ^% ]重复性误差*：小于1A :Kc9k(3&r
% J9 v N- V3 Y. m" _HB+{vuN*L
& s/ u0 m3 s0 z a9 p. t+ q产品应用: IIrp-EMXJ
8 c7 o9 R8 @ ~8 O0 {半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) [nL{n bli
9 }1 w, H J% O液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..） " n, ? ) $ N, D3 G* u1 Z9 f7 g
医学，生物薄膜及材料领域等 /XfE6SBz
% `0 \1 u' f9 m& K油墨，矿物学，颜料，调色剂等 &w4~0J>v! 5 B$ c( @: a* [* U% y
医药，中间设备 =8Bq2.nlR
8 k& u9 c8 {+ J& N" w5 ]* X) x+ i光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. B4 XN
) g' c) K4 C! }4 M半导体化合物 G a1B&@T 9 K% }, n0 ~8 U6 |8 N4 r
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 $F^p5EXkc6 2 Z+ O! L! R. C" A+ d
非晶体，纳米材料和结晶硅 |
|
窥视卡
雷达卡
显身卡
