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发表于 2010-8-10 20:06:00
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com 6\\jhDP@`9
# J; s/ e; H1 F8 pG.CkceWRn ( a, A6 h% d4 F# R7 O1 b7 G, E( s9 v
测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 JDi\\?m d.
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产品规格 HE>6A|rgDr % j1 ~% ?0 V) H; I( b- f4 m+ x/ J
波长范围：250nm到1100 nm {G _ :#cep
: P7 _' s6 c" e, c/ r1 B! t光斑尺寸：500μm至5mm `;?`XC"m ' m, R) D; d# L( L& C
样品尺寸：100mmx100mm QahM)Gb
( Z+ c& g& S1 j p: j2 L基板尺寸：最多可至50毫米厚 cj=6_k & c( |+ f9 e$ N7 C* }# j" P8 z; _4 J4 q5 q
测量厚度范围*：5nm-50μm 6Z2a5zO8
5 D+ p }* W5 U7 W4 ?测量时间：最快2毫秒 o Ho@rGU
. M4 V( G3 \" s4 [8 ~8 T精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） pP JhF8Dt : l& u- s) U1 c, D+ n
重复性误差*：小于1A :Kc9k(3&r + J9 N' |2 \4 d
HB+{vuN*L + q- v- r: s9 u$ r3 ?2 {) i3 l
产品应用: IIrp-EMXJ
2 ?- \8 s* c1 g, X3 {半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) [nL{n bli 6 r) d1 w8 g2 g5 Y* F0 w& w) O
液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..） " n, ? ) ! H& r0 R9 @6 ?1 Z
医学，生物薄膜及材料领域等 /XfE6SBz
% {, q: v4 f/ S9 U5 Z! l油墨，矿物学，颜料，调色剂等 &w4~0J>v! ; W+ u! v2 a# @- r6 G
医药，中间设备 =8Bq2.nlR
9 S4 L1 \+ b8 z) ]; z光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. B4 XN
: \! U( Q/ ]; Z) n半导体化合物 G a1B&@T
8 R4 e0 Z$ b3 N3 G) Y在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 $F^p5EXkc6
: x( B/ f$ H% D3 L, E* r* _# c非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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