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发表于 2010-8-10 20:06:00
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com 6\\jhDP@`9
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测量类型:薄膜厚度,反射光谱,透射光谱,折射率 JDi\\?m d. ) z. @3 e5 C6 R: N0 M
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7 E) q# c0 }4 ~产品规格 HE>6A|rgDr 7 S7 V) O; p1 N. |. ^! C$ { ]
波长范围:250nm到1100 nm {G _ :#cep ) [5 I: Z$ U; w$ C+ o& ~
光斑尺寸:500μm至5mm `;?`XC"m
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3 D' J4 a* k5 M2 K基板尺寸:最多可至50毫米厚 cj=6_k " g$ I- T7 |) t) r8 ]
测量厚度范围*:5nm-50μm 6Z2a5zO8 2 U3 I3 ^: L/ ]
测量时间:最快2毫秒 o Ho@rGU
% l5 H, R- U& G精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较) pP JhF8Dt
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3 y' U; {4 {! g. d0 g& ?, Z# q产品应用: IIrp-EMXJ
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医药,中间设备 =8Bq2.nlR
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半导体化合物 G a1B&@T
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( D& k9 f; `( p* t) ~' O非晶体,纳米材料和结晶硅 |
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