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发表于 2006-11-28 03:37:24
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光学薄膜基本理论及技术& b6 X( W2 R3 z' v& x* e: c/ Y
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光学薄膜应用于各种反射和投射光学元件,常用的典型光学薄膜的例子有: 减少光在元件表面反射的增透膜;使光在给定波长范围内透过的滤光片窗口;在反射镜中使用的高反射膜等。 [_ATAWx % u2 W: `' d4 s, }' e" ^
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如果入射光有角度,光通过元件时将产生偏振,光学薄膜可以针对入射角度、S偏振光、P偏振光和随机偏振光进行设计。如果光学薄膜按照0度入射光进行设计,就不能在45度表现出我们预期的光学性能。 ";@L83PN
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6 v# I- Z0 i6 m6 A, X- w4 ]光学薄膜的镀制是通过在元件表面沉积介质和金属材料如SiO2,TiO2, 或铝,典型的薄膜其每一层的厚度相当于1/4所使用的波长,高折射率的材料和低折射率的材料交替沉积,产生所需要的干涉效果。 LlE(*aE
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+ a6 M/ [& F9 Z1 a5 Q光学薄膜技术: mQx&"{.Q
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) _9 ?# U. u& r2 h- P1 d" Y$ U9 w- K5 GIBS: 离子束溅射,由离子源产生带能量的离子,溅射到基片表面。 hvu8:PCC
' h9 d+ i2 [; o) ?# s2 \; \PVD: 物理蒸发沉积,通过电子枪作用于镀膜材料上, 产生电子束,均匀沉积于镀膜元件上。 k|9=V= . P( D# j5 i) \- V6 Q6 Z4 L$ b
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相关名词: 0)|SJx
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" O3 }' G5 U# c9 S石英晶体膜厚控制(Crystal Thickness Control):石英晶体的重量的微小变化将会导致其振荡频率的变化,因此,在镀膜过程中,我们把石英具体探测头置于真空室内,通过石英晶体的频率变化来控制镀膜的厚度。 N|B?^jr(|, 7 @7 ]; M: S7 c( q
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介质(Dielectric):从紫外、可见到近红外波长都有较高的透过率(很小吸收)的材料称为介质材料。 izRye"tq 9 V5 A# r4 W' t4 N
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# R; n$ o, F% g/ |& Y8 q, f) x光学监控(Optical Monitoring):在镀膜过程中,直接测量置于真空室内的比较片的反射或透射的设备。在一些情况下,光控有比较高的测量精度。 FFcCUivV_
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: ~: |- Q2 B: }" B- y1 I光学薄膜(Thin Film):任何在光线透过或反射时产生增加或减少干涉效果的薄膜。 |
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