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摘要/ I- D- ]9 ]; B t
为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光( x) E, V) i! O" y( h! F7 S( I4 P* n
学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜"并对激
K0 _ u9 @1 F* _, O2 J) G' o) W光膜的镀膜材料!膜系设计!沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究"利用
9 C- p* Y" n1 v9 h9 }9 q/ P真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤闲值,解决了低
5 U7 X- N9 P3 b+ G0 o. |温冷镀的膜层牢固性问题"通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和
+ i, u2 E" L4 h监控方法减小了膜厚误差"制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25/一0 r; G/ f# y4 D- u: G# a. [1 V( @
65/入射时,其反射率R>99.7%"& R" A5 T$ k( ]1 h6 ?; I/ a
关键词:真空镀膜;减反膜;高反膜;多模光纤5 ]5 S- Q+ E( B7 Q
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