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摘要 ?1 V) _) G, V$ H' [
为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光: z8 `6 \" T- \# l
学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜"并对激. ^2 k9 g9 d3 X4 `, Y
光膜的镀膜材料!膜系设计!沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究"利用, ?4 `8 [. G2 T
真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤闲值,解决了低
( O, B3 G8 \" D: g温冷镀的膜层牢固性问题"通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和
- X0 Q2 B3 ^& P* H0 d2 p! e- T监控方法减小了膜厚误差"制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25/一
' _6 D. v+ ^2 m2 t; ?+ \65/入射时,其反射率R>99.7%"
) ] x7 P+ S' k" s) I$ \关键词:真空镀膜;减反膜;高反膜;多模光纤
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