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摘要, U) I4 m( L$ |2 n0 s# j
为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光' B2 V1 Q1 e& ^
学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜"并对激
9 d8 f& j0 ^& h7 J3 n- v, O8 S& B光膜的镀膜材料!膜系设计!沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究"利用
0 P% {) K- ?$ `/ H真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤闲值,解决了低
( I* L) k4 l6 z' I9 a+ o: A温冷镀的膜层牢固性问题"通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和
4 \# `5 ]* _. l4 }# J监控方法减小了膜厚误差"制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25/一
+ R0 ?& j% o f: ?7 _; X65/入射时,其反射率R>99.7%"
- p/ T$ D* r' @& T关键词:真空镀膜;减反膜;高反膜;多模光纤
6 ~8 V+ G c& ^+ Z链接:http://pan.baidu.com/s/1o8es5To 密码: f5 ~! a3 D6 l" |
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