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摘要
* \; b- E& l1 z9 E. J为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光
# t# x- D. @! P$ F学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜"并对激$ N, |; j N* f* {, Z# P/ U
光膜的镀膜材料!膜系设计!沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究"利用2 X2 Q1 \: h# T( t# n1 M0 {- ?
真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤闲值,解决了低
( o, v. O' g) s: d' ? L9 z' _7 U温冷镀的膜层牢固性问题"通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和' ]! W3 U4 y, M* Q' \
监控方法减小了膜厚误差"制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25/一6 N) x0 h1 [0 z. D
65/入射时,其反射率R>99.7%"
) M4 v' w7 G$ H2 d, O) x9 A关键词:真空镀膜;减反膜;高反膜;多模光纤1 Y1 v7 C9 ^0 n
链接:http://pan.baidu.com/s/1o8es5To 密码:
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