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摘要
/ G7 y A( i+ `* X8 m为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光
, b/ A/ ~7 D. L8 |0 y6 U; L/ {1 V学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜"并对激
6 R1 j- h$ m8 F" C6 H- g光膜的镀膜材料!膜系设计!沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究"利用- W6 y0 S: D! o* v9 S
真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤闲值,解决了低
8 A7 a) t& c( m" z$ [. l. T温冷镀的膜层牢固性问题"通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和
8 [1 ?- q" g2 f" C) f9 |8 p监控方法减小了膜厚误差"制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25/一' A* K" V- a$ O5 j
65/入射时,其反射率R>99.7%"- Y. s' ?: c4 E6 G
关键词:真空镀膜;减反膜;高反膜;多模光纤2 }6 ^0 v* C0 H' s2 Y% F% r- q
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