如何用双离子束溅射制备低吸收的hfo2薄膜

wangluoshu

一直在做用双离子束溅射制备氧化铪薄膜，总是吸收很高，氧气多了反而吸收也高了，搞不懂什么原因，氧气少了氧化不充分会吸收高，怎么氧气多了也吸收高了？有没有做过的帮帮我，急着交毕业论文呢！谢谢哈！