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[求助] 如何用双离子束溅射制备低吸收的hfo2薄膜

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发表于 2013-9-27 15:56:12 | 显示全部楼层 |阅读模式
一直在做用双离子束溅射制备氧化铪薄膜,总是吸收很高,氧气多了反而吸收也高了,搞不懂什么原因,氧气少了氧化不充分会吸收高,怎么氧气多了也吸收高了?有没有做过的帮帮我,急着交毕业论文呢!谢谢哈!
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