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近红外光学膜厚监控系统的研制
* B+ y* ]: @& D: N. M8 l5 X5 Q+ z江绍基 马云飞 佘卫龙 王自鑫 朱析 蔡志岗 李宝军(中山大学光电材料与技术国家重点实验室广东广州510275)
8 c, B, [+ A+ ]9 D. {0 l文 摘:在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,研制了锁相放大器和改装近红外探头组成的近红外光学膜厚监控系统,成功实现近红外膜厚监控信号的压噪、放大、滤波和检测监控。. T7 J) {" ~6 b* w- J6 p M! L! d
关键词:近红外 光学薄膜 膜厚监控 锁相放大! S& [. ]9 ]. B- [# P2 G
分类号: TH744ISSN: 1001-58687 e9 L. n' v# {6 t$ `3 o+ w
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