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近红外光学膜厚监控系统的研制

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发表于 2005-12-24 11:54:09 | 显示全部楼层 |阅读模式
近红外光学膜厚监控系统的研制9 y# Q# [, ?6 F3 S) S
江绍基 马云飞 佘卫龙 王自鑫 朱析 蔡志岗 李宝军(中山大学光电材料与技术国家重点实验室广东广州510275)
. O4 R7 R4 E9 q' {9 g- C文 摘:在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,研制了锁相放大器和改装近红外探头组成的近红外光学膜厚监控系统,成功实现近红外膜厚监控信号的压噪、放大、滤波和检测监控。4 s: F' ^- r0 V$ W% e# L* v  h1 B
关键词:近红外 光学薄膜 膜厚监控 锁相放大  E# }6 D! P9 b  x5 A7 g
分类号: TH744ISSN: 1001-5868
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发表于 2005-12-29 13:53:32 | 显示全部楼层
十分感谢楼主!
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747
发表于 2006-1-20 02:05:03 | 显示全部楼层
不赖,谢谢
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499
发表于 2007-10-28 12:17:16 | 显示全部楼层
太好了 万分感激
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176
发表于 2008-1-25 15:40:52 | 显示全部楼层
俺就下不了,新手2分都没有呢  :(
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发表于 2008-1-27 04:09:58 | 显示全部楼层
thank your very much
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发表于 2010-3-4 03:15:35 | 显示全部楼层
太好了 万分感激
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发表于 2010-3-4 03:20:59 | 显示全部楼层
好东东5 R+ c6 b6 a9 f( Y1 t3 o
太好了 万分感激
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130
发表于 2010-6-17 22:18:47 | 显示全部楼层
俺也下不了!!
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