溅射法制备梯度薄膜研究进展

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溅射法制备梯度薄膜研究进展
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/ X  x5 v8 L* }/ A1 V3 J& w   英文标题：  Progress in the Research of Gradient Film Preparation by Sputtering   
3 J5 ?# \+ [1 t1 _) |  作者：  宋娟   
  作者单位：  盐城工学院,材料工程学院,江苏,盐城,224051  
- M% P- y9 s4 r: c   刊名：  盐城工学院学报（自然科学版）  
7 o8 E6 o# f" G$ F7 Z( \1 P# t   英文刊名：  JOURNAL OF YANCHENG INSTITUTE OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)   
   年/卷/期：  2009 /22 /03   
5 h9 m$ a: c6 I+ f   栏目名称：  化学与材料工程研究   
( y6 l! t2 G! L5 N6 j; K& ]  分类号：  O484.5  ； TB43   
  关键词：  梯度薄膜  ； 气体流量  ； 溅射参数   
   摘要：  梯度薄膜是一种涂覆型梯度材料,具有均质薄膜无法比拟的优越性.溅射法效率较高且环保,较广泛地应用于梯度薄膜的制备.对于反应溅射,可通过连续改变反应气体流量制得化学成分比连续变化的梯度薄膜.对于非反应溅射,可通过溅射一系列不同成分比的靶材制得梯度薄膜,但成本较高,且梯度层有限.而通过连续改变溅射参数来制备梯度薄膜是较常用的方法.   
  基金项目：   
- z6 J( M: W+ N0 j  d' v  数据库名： 数字化期刊数据库  

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謝謝提供資料
    

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参考一下，谢谢喽。