溅射法制备梯度薄膜研究进展

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溅射法制备梯度薄膜研究进展

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6 O1 b0 k& {  v4 I- W" T4 H3 J   英文标题：  Progress in the Research of Gradient Film Preparation by Sputtering   
  作者：  宋娟   
* U4 k7 s& u& P5 f: a4 A0 V/ l  Y. y  作者单位：  盐城工学院,材料工程学院,江苏,盐城,224051  
4 p$ W; j8 H6 G: H   刊名：  盐城工学院学报（自然科学版）  
   英文刊名：  JOURNAL OF YANCHENG INSTITUTE OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)   
   年/卷/期：  2009 /22 /03   
   栏目名称：  化学与材料工程研究   
' p5 Y3 S2 q: p) A# A8 |  分类号：  O484.5  ； TB43   
  关键词：  梯度薄膜  ； 气体流量  ； 溅射参数   
- a, ~6 g5 f, x+ v   摘要：  梯度薄膜是一种涂覆型梯度材料,具有均质薄膜无法比拟的优越性.溅射法效率较高且环保,较广泛地应用于梯度薄膜的制备.对于反应溅射,可通过连续改变反应气体流量制得化学成分比连续变化的梯度薄膜.对于非反应溅射,可通过溅射一系列不同成分比的靶材制得梯度薄膜,但成本较高,且梯度层有限.而通过连续改变溅射参数来制备梯度薄膜是较常用的方法.   
  基金项目：   
  w7 d' ?' U$ [; M( R  数据库名： 数字化期刊数据库  

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謝謝提供資料
    

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参考一下，谢谢喽。