离子束辅助沉积TiO2薄膜近红外光学特性分析

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离子束辅助沉积TiO2薄膜近红外光学特性分析   


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4 g3 ?% l* W5 b; \8 a7 ^7 ?' @6 ?   英文标题：  Analysis of Optical Constant in Near Infrared Region of TiO2 Thin Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition   
  作者：  潘永强  ； 施洋   
  作者单位：  西安工业大学,光电工程学院,西安,710032  
   刊名：  西安工业大学学报  
% v+ ~9 o- ^/ C/ O   英文刊名：  JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   
/ l6 _) A  h" J" P- l   年/卷/期：  2009 /29 /04   
" a( }' N2 V2 b9 ]* p   栏目名称：  光电工程   
) e+ L3 e0 s1 l: _  分类号：  O484.1   
5 ]) H) c* C) Y0 E  关键词：  二氧化钛薄膜  ； 近红外  ； 光学常数  ； 离子束辅助沉积   
   摘要：  二氧化钛(TiO2)作为一种常用的薄膜材料,对其近红外波段光学特性的研究很少.利用正交试验法,采用椭圆仪对TiO2薄膜近红外波段的光学特性进行了研究.着重研究了薄膜沉积速率、基片烘烤温度和氧气分压等因素对TiO2薄膜近红外波段的折射率和消光系数的影响.实验结果表明,对TiO2薄膜折射率影响最大的两种因素是薄膜沉积速率和烘烤温度.随着沉积速率的增加,薄膜折射率先增加后减小,最佳沉积速率为0.4 nm/s左右;随着基片温度的增加,薄膜折射率从2.15增加到2.23左右;氧气分压也是影响薄膜折射率的主要因素之一,结果表明氧气流量为4.0 sccm(工作真空度1.4×10-2 Pa)时折射率最大.该研究为扩宽TiO2薄膜在近红外波段的应用提供了依据.  

duanjian

这得到的二氧化钛薄膜是渐变折射率薄膜吧？？

qqoptics

资料好少啊

facri001

资料好少啊

fenglzl630

谢谢，值得看看

frankmj

is it good?

qqucqquc

学习一下，先。多谢

xj2008cg

谢谢楼主了