离子束辅助沉积TiO2薄膜近红外光学特性分析

gds · 发表于 2010-3-30 09:47:19

离子束辅助沉积TiO2薄膜近红外光学特性分析

英文标题：  Analysis of Optical Constant in Near Infrared Region of TiO2 Thin Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition
  作者：  潘永强  ；施洋
  作者单位：  西安工业大学,光电工程学院,西安,710032
刊名：  西安工业大学学报
英文刊名：  JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
年/卷/期：  2009 /29 /04
栏目名称：  光电工程
  分类号：  O484.1
  关键词：  二氧化钛薄膜  ；近红外  ；光学常数  ；离子束辅助沉积
摘要：  二氧化钛(TiO2)作为一种常用的薄膜材料,对其近红外波段光学特性的研究很少.利用正交试验法,采用椭圆仪对TiO2薄膜近红外波段的光学特性进行了研究.着重研究了薄膜沉积速率、基片烘烤温度和氧气分压等因素对TiO2薄膜近红外波段的折射率和消光系数的影响.实验结果表明,对TiO2薄膜折射率影响最大的两种因素是薄膜沉积速率和烘烤温度.随着沉积速率的增加,薄膜折射率先增加后减小,最佳沉积速率为0.4 nm/s左右;随着基片温度的增加,薄膜折射率从2.15增加到2.23左右;氧气分压也是影响薄膜折射率的主要因素之一,结果表明氧气流量为4.0 sccm(工作真空度1.4×10-2 Pa)时折射率最大.该研究为扩宽TiO2薄膜在近红外波段的应用提供了依据.

duanjian · 发表于 2010-3-31 22:04:00

这得到的二氧化钛薄膜是渐变折射率薄膜吧？？

qqoptics · 发表于 2010-4-2 07:19:35

资料好少啊

facri001 · 发表于 2010-4-28 08:36:29

资料好少啊

fenglzl630 · 发表于 2010-5-4 11:29:44

谢谢，值得看看

frankmj · 发表于 2010-5-22 16:52:56

is it good?

qqucqquc · 发表于 2010-8-13 11:46:16

学习一下，先。多谢

xj2008cg · 发表于 2011-7-12 23:33:11

谢谢楼主了

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