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+ m# t' I3 V5 ^" {0 F- R书名:现代光学薄膜技术, x4 y! j+ S7 V0 e2 i# u
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作者:唐晋发 等著
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出版社:浙江大学出版社
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原价:64.00) s0 b/ P! t2 g0 q V1 V- I; L
( P/ T" H/ X: M m8 N出版日期:2006-11-1
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ISBN:9787308049771( [- E' D' U- \0 u/ b
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字数:, i# {3 H6 N1 X& ?: a
% d* B5 F0 w+ ?' g$ N7 `3 H页数:492, F: k; E7 M2 ?. u- I
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内容提要
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+ C/ r" y- x; H: U
5 W2 i$ K/ z% K$ L3 U/ i--------------------------------------------------------------------------------; _7 x6 R1 v4 f# y' a1 G9 Z3 |
6 G, h s6 e. W$ q* r4 D光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。本书第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域,为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习本书的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。
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目录& D+ \ c4 v0 F
4 F& x) P" m% L$ s6 S+ g/ U3 } K: }! c, E/ F9 k- C* L
--------------------------------------------------------------------------------5 D3 U" D$ j0 Q, G! k& M
" c- T& y* _! R6 F7 u) s第一篇 光学多层膜设计
/ n$ Z9 q6 C x% z6 p* h 第1章 光学薄膜特性的理论计算
$ ^; }9 K1 K( G( j' r; ] 1.1 单色平面电磁波! Q/ _" D& n6 m5 \9 n
1.2 平面电磁波在单一界布的反射和折射% N4 z+ {6 n1 O2 c* D+ m7 |
1.3 光学薄膜特性的理论计算7 o6 r* V. L8 c$ [
1.4 光学多层膜内的电场强度分布
- u0 I( _+ b& [! P9 a2 B 习题4 h9 F6 @8 x& f# O. l+ p
第2章 光学薄膜的设计理论4 |/ Y2 t2 r4 I) }) r
2.1 矢量作图法
2 t1 v; E% _: H8 D+ j4 p 2.2 有效界面法; a' M' H# i, _2 r0 v! B& C
2.3 对称膜系的等效层/ t8 [- b/ }( v5 R
2.4 导纳图解技术
! Y X+ w M' s! M& s/ ? F 习题
* U2 U& {1 f9 p% i) O: X; g0 Q. C 第3章 光学薄膜系统的设计; u2 p; _) K1 {3 }/ Z4 Z& E3 x! m$ e! b
3.1 减反射膜
; [" z1 z5 k$ \2 {! A 3.2 分束镜& b7 m+ \8 g0 `' y3 o; K( X6 c
3.3 高反射膜: M+ [+ H/ }' v4 K: \
3.4 干涉截止滤光片# \1 V! B/ l* K8 W$ y/ F8 M
3.5 带通滤光片
* n; \" |$ s3 D9 k: o. U1 K9 \8 | 3.6 特殊膜系
`* O) \2 Z E- t n/ i 习题
' e8 |/ G o' [8 g 参考文献 Q$ n0 q T5 z4 G% @! L! A, i: E" \) L
第二篇 薄膜制备技术和微结构特性3 J& i0 ~3 y; W8 {* H0 O! |& h
第4章 薄膜制备技术9 A; ^5 M/ m$ S4 ^/ u
4.1 真空淀积工艺
# Q* _, ?3 `/ r% w/ Z% j 4.2 光学薄膜材料' T/ T- B8 g: ~* O3 f. r8 I4 ~# J# I7 U
4.3 薄膜厚度监控艺术
0 e# U) K6 c* N) q$ I1 W# [ 4.4 膜层厚度的均匀性) O" z) _# v x8 g4 d" G6 s! d4 l" Y; V
习题* X0 e; F Q6 ~# d
参考文献, J, j/ H K# Q8 r4 R1 r( e. {
第5章 制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响
. H7 v0 K+ D& W- O3 B& x 5.1 薄膜的形成过程. T6 _2 H Z) E/ ]) y, f" C
5.2 薄膜的微观结构
9 P" O8 `( _. z& z 5.3 薄膜的成分
/ q3 H3 B: W1 S; ~" Z 5.4 微观结构和成分对薄膜特性的影响 ) c, `! b8 }/ Z" o ?
5.5 薄膜微观结构和改善
4 O/ h' ~. K) P; s- L, v 习题
$ j |! t. P( Z) S; \: a& S 参考文献 h' [7 b7 l: P3 b9 I1 i. q5 ]! q
第三篇 光学薄膜检测技术
/ \2 V$ B9 I8 A$ A 第6章 薄膜透射率和反射率测量 # L! V6 i5 O+ l' J$ L- \0 U# V" B
6.1 光谱分析测试系统的基本原理( s% b$ o" K- d+ |
6.2 薄膜反射率的测试
- ~9 {' E5 j& u6 L 6.3 薄膜反射率的测量
0 r7 d' V% w( F4 B+ b' I 6.4 利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗; O2 A6 F5 V. p0 g6 w
6.5 总结+ V/ K; \" n$ \% }
习题
; J/ J( A# Z+ M5 z$ E* K, f N 参考文献* r: E: _5 u* L; F, N0 p8 M
第7章 薄膜的吸收和散射测量
0 S6 o0 g7 j) {. z; C, i* p 7.1 激光量热计基本原理& R8 J9 @+ n* G1 a! Y9 g
7.2 光声、光热偏转法测量薄膜吸收
! b4 r8 D4 j8 E, x2 @" v/ c X 7.3 薄膜散射的标量理论和总积分散射测量- [5 m/ |' b# p( ^$ X& ~9 e
7.4 散射光的矢量理论和角分布测量) h" F9 }; g T3 x4 |& L: N
7.5 谐振腔衰荡薄膜损耗检测法& F6 X3 A8 u% ]/ n
7.6 薄膜导波传播衰减系数法4 [& |4 R2 [( e' G- m& R
7.7 总结
( y1 ?: _2 h4 r0 v: ~ 习题
! ^# L8 O* W2 C+ T 参考文献& P$ B7 l' I5 K8 N0 \/ N0 g
第8章 薄膜光学常数的测量 5 P* `, G, G) w% H
8.1 从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数2 g+ [9 L# X8 S8 v
8.2 其他薄膜的光学常数测试方法4 r7 T% j& f z) l! F
8.3 薄膜波导法 v Q; K0 w4 g( Z5 q8 p4 M: W
8.4 光学薄膜厚度的测试 6 n1 Q! Z& h* [4 c5 z: N2 d
8.5 总结6 \" e# }' u/ f% h6 @$ G
习题
' ]; X) Z4 E0 Q+ f+ w- b d 参考文献' D0 p: s2 E/ [
第9章 薄膜非光学特性的检测技术
+ V" o1 C t5 J6 K; D2 V 9.1 薄膜的力学特性检测技术$ p$ m: u# I* e, i3 R
9.2 薄膜器件的环境试验9 v8 w" X/ V+ i5 o7 k! }( X# X
9.3 薄膜的微结构与化学成分检测1 y% g* _! L) s/ j
9.4 总结: Q- `+ @% s% h w) u: P7 E% A
习题
5 S+ I, {- T( L* A. |6 U) x5 e 参考文献+ o( e0 P& E0 h: B$ ?
附录
4 H3 C, O5 J4 ?6 G" g# j 附录A 复数与复数运算
$ f4 l& ^ x4 b; }* N A.1 复数的概念
. Z( V* Z& V# a) u$ A. w4 v0 ` A.2 复数的三角函数及指数表示方法
4 o0 u# d* X# { A.3 复数在物理中的运用. k+ l3 J5 R% F
附录B 矩陈及矩陈运算, E" D+ K. ]* M6 C7 A+ r
B.1 矩陈的定义
! J$ D: ]! K ?4 A' ~) a4 `: d B.2 矩陈运算; F& P- D$ l$ u* P4 f/ d
附录C 光的电磁理论基础) T, ^4 n! h, n+ j6 y. E1 I
C.1 振动与波
& @; v" s9 K1 x; p9 M, S Y C.2 电磁波1 w8 K/ F: b8 W! k* k" y% D
C.3 麦克斯韦方程0 o. V- M; _' g2 ~. Y$ M9 g
C.4 平面电磁波
, Q3 g) |6 \1 t0 \" p C.5 平面电磁波性质
, e, n! k' [+ b/ p p C.6 电磁波在介质表面的反射和折射 " N# J" a% C# m8 g
附录D 光的干涉% a+ B2 A8 X" I0 s W
D.1 波的叠加原理, q- ?$ [9 u8 A$ N( j) q* p
D.2 杨氏干涉! W+ c: \. G+ M( \' a: [( w' w
D.3 平板的表面干涉* H" {) x8 c; k5 U ]- o2 m$ w
D.4 光的空间相干性和时间相干性
, S% e; J! e6 V 附录E 光的偏振
4 f! v9 A( J' T H E.1 自然光和偏振光; y% q! n1 m# t( `! Y% h8 M
E.2 偏振光与Jones矩陈4 a' a$ W3 {/ w2 z
E.3 偏振光的获得
! u3 g; L* Z. {7 B% s E.4 偏振光的检验
! @1 C, C; ]6 G, I! K
h2 e% s! L/ b5 e( h作者介绍 |
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