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书名:现代光学薄膜技术
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作者:唐晋发 等著8 [' }. f+ ^ O4 v, n
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出版社:浙江大学出版社9 ]1 J6 [5 V& ^
6 ]+ d- }% W. T8 a* X. g7 t原价:64.00
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: p; k# B, C0 W/ u0 k. J; i y出版日期:2006-11-10 j9 o0 ^& Q. W% W) M
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ISBN:9787308049771# G0 W7 w/ I3 N ?: B: @1 b5 q
+ Y' }* v5 a% E# f5 D: L
字数:
) S1 G) F8 W7 i2 @/ |4 a
6 ~+ A( |8 |- f. V页数:492
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内容提要& t! i0 \* \, M) }) O
* a3 r* a; \ T6 Y+ [, d
/ L" D. F+ S4 _; V+ Q--------------------------------------------------------------------------------
/ l3 U8 o* _: e. j" W6 G; S3 T8 d! ~8 P1 O" H4 M* m: t4 B/ y4 a* B* _
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。本书第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域,为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习本书的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。5 Z4 l& ~4 i1 @0 ?2 O( G6 f
8 B- Z$ I, H+ E# \# X0 V( F, }- y# [目录' t1 j8 D# w: K7 |' ^1 D
! H, W4 z B3 t! \* N! w+ ^) t
8 K5 w7 E2 n3 V( i--------------------------------------------------------------------------------
3 Y* E& I8 F, C1 A5 N V9 `$ H" ^# H5 W8 `" m9 c0 Y# t9 u
第一篇 光学多层膜设计, e* f3 |* e: r6 h1 Q! U
第1章 光学薄膜特性的理论计算
4 ^* e$ S+ H/ X/ @2 L3 T 1.1 单色平面电磁波6 y& d3 P3 S4 @# u/ ^6 q0 b
1.2 平面电磁波在单一界布的反射和折射
$ t9 T0 Z7 M" e& z5 b/ X 1.3 光学薄膜特性的理论计算7 m8 p* D% K, ~/ l% ]
1.4 光学多层膜内的电场强度分布
_3 [: g. y0 d& N0 |1 e( m/ [ 习题
3 q; U2 ?( n3 k* J' K. m 第2章 光学薄膜的设计理论
4 n# l8 B- ^1 \ Z8 Z 2.1 矢量作图法
; k6 s, K% T: x4 U. j- w 2.2 有效界面法7 M1 Z7 ]- F3 @3 j9 G I
2.3 对称膜系的等效层
$ ~. `; U6 O& Q 2.4 导纳图解技术
% I8 U; I4 L* j8 C4 O8 U+ S) \3 f. q 习题* T% m1 N# D& s: {
第3章 光学薄膜系统的设计( X2 M' J; T+ x3 f; _, F
3.1 减反射膜
A. N" g/ Q3 b 3.2 分束镜. W a# C' ^; J- e
3.3 高反射膜
& ~) D. v% y0 W" D! U$ f j 3.4 干涉截止滤光片1 S5 q, F, [/ R" i! S
3.5 带通滤光片( a0 d% D8 }; x# ?+ s3 G
3.6 特殊膜系
8 ]+ B: _' v6 _( T | 习题7 Y3 o6 C5 @# [3 ?
参考文献
9 M' m9 E7 k# a第二篇 薄膜制备技术和微结构特性
" d3 @. z f9 i% w- R+ u 第4章 薄膜制备技术7 n. ~5 T9 k! {$ b7 g+ A7 D
4.1 真空淀积工艺6 f r7 i3 M8 a9 ?
4.2 光学薄膜材料! ~! G) O% ]3 K; `' b
4.3 薄膜厚度监控艺术# w5 i1 u, c& M* F {
4.4 膜层厚度的均匀性2 Q# _. D# {7 ^" h# O, @
习题
5 a1 I* m- O3 g9 U7 N 参考文献
0 K$ ]8 h% F+ y' S" h1 z 第5章 制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响4 z! y. Q7 u# O: c5 {% d
5.1 薄膜的形成过程
l' b8 ~9 S9 y7 C 5.2 薄膜的微观结构
. i. q1 Q- U6 I, }3 A* x( b 5.3 薄膜的成分8 B3 i w' P6 }% D
5.4 微观结构和成分对薄膜特性的影响 - M& x N2 w* Q/ p$ z
5.5 薄膜微观结构和改善1 d$ [& d" D* D& r2 W! k
习题
+ z( i- O- U. j k 参考文献
f I6 x7 M/ V5 M. G, P2 C* M第三篇 光学薄膜检测技术
, L* |# |% x' r9 G) l0 l 第6章 薄膜透射率和反射率测量 # Z) _( [- X) }2 M
6.1 光谱分析测试系统的基本原理, B0 M5 o/ ^5 { Z) p3 x
6.2 薄膜反射率的测试
( @3 e h; t6 S( l7 }8 s# h 6.3 薄膜反射率的测量
( u* z$ |* K5 E: u' ~ e& N 6.4 利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗0 P" r& R& U( { }# Q
6.5 总结% @* f$ c. w" r# _$ `9 T
习题1 R5 ~" J' l& Z
参考文献% {& H! h$ J4 {% y, j
第7章 薄膜的吸收和散射测量 ; U* K& D) k0 X: ~; [7 f4 ?4 A: c
7.1 激光量热计基本原理$ F$ \- t$ s+ |; J
7.2 光声、光热偏转法测量薄膜吸收
. @# D5 `. p* n% Q- Q3 K: j3 H! u) p 7.3 薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
; u) K# M" M9 o) u& ^ 7.4 散射光的矢量理论和角分布测量5 d7 h. |8 X6 z% p% _# }
7.5 谐振腔衰荡薄膜损耗检测法* D; m9 e, r% I) I3 ^$ ^4 B
7.6 薄膜导波传播衰减系数法+ J0 i( _5 ], y& G* u5 v' C; ]
7.7 总结
# n, I0 _. e5 O, }+ c2 q. r 习题
- \ z [1 J0 `9 M6 \+ B. Z 参考文献
) P+ N. M: O( T4 X) ~; W 第8章 薄膜光学常数的测量 $ B1 ^* N( W# |
8.1 从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数
. T' q; o# _. m0 }8 E 8.2 其他薄膜的光学常数测试方法5 Y6 P; y( u0 A
8.3 薄膜波导法* O' z `, y# k- l
8.4 光学薄膜厚度的测试
( D) k C+ l, ]4 M" K# f 8.5 总结
+ T$ \3 T6 y. f' L, b% D2 c 习题. ^3 N. h! S- J% ^! [( R! j; N* k
参考文献
# v2 ?, @3 Q( o$ P2 W 第9章 薄膜非光学特性的检测技术
3 @; F, n: F8 K9 q; J9 `( q1 p 9.1 薄膜的力学特性检测技术
8 G2 s: O; ^1 z) B 9.2 薄膜器件的环境试验
9 H0 g; j, h! [) j 9.3 薄膜的微结构与化学成分检测
, H7 ~3 F& L$ @ 9.4 总结
* I/ j) p" F# o4 V8 B 习题
9 x/ J/ A* K+ ?/ }" l- s 参考文献1 Z) ^5 u" S3 _2 P5 z; o
附录6 r6 ?( O8 E: p/ I! G- t
附录A 复数与复数运算
, \8 w2 f3 C/ V: R* ]8 u A.1 复数的概念
2 k' { e- t' {+ n A.2 复数的三角函数及指数表示方法
, m- G6 x8 X6 U. D A.3 复数在物理中的运用4 g9 O1 x2 s3 w5 e
附录B 矩陈及矩陈运算
: V4 o R. C& U9 m+ T) _1 T% f2 A B.1 矩陈的定义
! f$ R& q W. f- v: B B.2 矩陈运算* C( }) {5 y) S5 F
附录C 光的电磁理论基础+ ?0 ?" M6 D2 x- k
C.1 振动与波6 H" ~8 F' a# K3 ~
C.2 电磁波
; i! t# p# y2 ]3 C- k$ ~) L C.3 麦克斯韦方程0 V& f D3 E( Z$ y) ]0 v- z
C.4 平面电磁波
: d& ^( g, S( k( ?' B C.5 平面电磁波性质
' @2 H d( L# Y) s1 t' [ C.6 电磁波在介质表面的反射和折射
! w2 Q0 `+ f* X0 C$ y2 x* z! B 附录D 光的干涉
3 ?: h& o% j% k) m) t D.1 波的叠加原理3 G- E- z3 y% p" Q, G9 H' C3 g
D.2 杨氏干涉
* C8 |( }: h+ i D.3 平板的表面干涉; Y" Y S6 L. l( V5 Q
D.4 光的空间相干性和时间相干性
% _: M& N8 b% ` a U t0 C7 U5 }" Y 附录E 光的偏振; s- v1 C) g' R& ^( X. K1 n& C
E.1 自然光和偏振光
/ M% ?# v- \$ D' x! T E.2 偏振光与Jones矩陈
P* D. E& t9 k. C E.3 偏振光的获得
/ q& _& l; u, n) m' w: G2 ~1 v+ u E.4 偏振光的检验' u/ |* C' N o- N2 K$ @3 \( I
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