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4 B5 i' P! l) X! v& d6 B书名:现代光学薄膜技术
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/ x$ E; H0 J0 D/ b; n作者:唐晋发 等著* ]1 h% x7 e" s- O
( }5 r9 D% T( K出版社:浙江大学出版社
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原价:64.00
8 S" @ `1 D! r: M2 x& o9 G( H% V- n+ g, N/ l5 l5 x0 W
出版日期:2006-11-1
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' m3 N" k% Y, |* c' zISBN:9787308049771$ k. O y4 M+ z& K6 N7 y! x; @
7 W, G1 z$ u4 p9 n$ o字数:
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页数:492
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内容提要4 f6 P0 X8 x. @7 u- U# E# S/ x
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0 L! S9 y! b" i3 `/ K8 B2 t
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( g3 Y! P4 L3 s
8 d c/ H% I0 f/ P. G5 _光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。本书第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域,为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习本书的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。
+ z y1 @% K% }' x7 s6 o/ v' @" e2 {4 w0 O8 k" u
目录8 O4 Q) ^0 `: G1 r
+ O9 a2 y$ M. q3 d' I& L" J5 j0 j& e9 E
# ?$ h% f8 r' R4 y" S
--------------------------------------------------------------------------------# _6 X7 [: Z! A' N" L
$ Q- g e$ b$ t8 U0 j/ [% c) u第一篇 光学多层膜设计
" k' P' w* d. b6 ?8 N2 \. l) Z0 o 第1章 光学薄膜特性的理论计算0 N/ i$ z7 b5 o6 n
1.1 单色平面电磁波/ F7 i) o: v1 t6 e5 z
1.2 平面电磁波在单一界布的反射和折射
5 I W, ^, S1 c, S 1.3 光学薄膜特性的理论计算/ y' Y% t/ B% K6 }/ }
1.4 光学多层膜内的电场强度分布
. J. R$ n9 F( U9 t% H$ S 习题
: G% M3 P. S1 K5 n/ B. @ 第2章 光学薄膜的设计理论9 e6 W- ^1 t- I+ A2 F' [
2.1 矢量作图法
1 L* S. }( n# _. A2 V4 [% g 2.2 有效界面法' X6 [, S [9 g. P$ O0 x
2.3 对称膜系的等效层4 _5 Q: K& j3 Q5 A
2.4 导纳图解技术0 S2 w2 z0 b0 }7 Y7 s* ~% q, \1 d
习题
9 v3 `, v; G/ M- Q 第3章 光学薄膜系统的设计 H$ f H1 ~ ^* g1 b$ J
3.1 减反射膜
3 q; a( m2 n) }+ \) t 3.2 分束镜* i$ u8 q5 @ B/ }4 A7 T/ y) ^
3.3 高反射膜
% T+ E, i t! C 3.4 干涉截止滤光片
" d4 c% X9 t/ A5 u7 |7 s 3.5 带通滤光片4 N; b! k ^% a# j, Q7 Q7 {
3.6 特殊膜系+ t0 I; t& v% ~7 i3 u8 e
习题. B7 D' i5 x) G
参考文献
2 d( ], S) M7 Q) D8 o0 _& M第二篇 薄膜制备技术和微结构特性# y$ N6 F( Q( F( k
第4章 薄膜制备技术0 {- g) ~/ v* _5 G8 s
4.1 真空淀积工艺
3 C2 J8 t2 F, ^ 4.2 光学薄膜材料7 ~& A- F: \$ T9 ^7 s
4.3 薄膜厚度监控艺术
( |2 `( }2 Y1 T6 H 4.4 膜层厚度的均匀性8 M1 m2 R5 H0 \/ o: R% B8 i
习题1 b, `2 p$ r" T. t
参考文献) P* x, g5 D; u; g
第5章 制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响# V% p! L) C- X* s
5.1 薄膜的形成过程4 S* \1 w, p! y8 X: Z! G% {) a
5.2 薄膜的微观结构
+ d6 Z, ~% E/ |- r4 t L8 f# s 5.3 薄膜的成分! T: K1 t! T- O" |2 f9 D
5.4 微观结构和成分对薄膜特性的影响
+ v, T# c& ^+ j |2 j$ x2 B 5.5 薄膜微观结构和改善
# b* V) T7 T* Y7 ^- v 习题: k X$ e4 h* O8 _2 j* C
参考文献 D# c, g1 n1 w% U" ]
第三篇 光学薄膜检测技术, a# A! k2 ~0 s7 Y0 d- `7 ]
第6章 薄膜透射率和反射率测量
* H% A3 k$ |+ Q" s5 V 6.1 光谱分析测试系统的基本原理& `& e. O! {$ W4 X/ G$ k+ m1 y0 z8 `
6.2 薄膜反射率的测试 * n+ P6 F: J h* W0 s3 O+ D
6.3 薄膜反射率的测量 , V0 W4 r6 ], k3 J- X \7 [' V
6.4 利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗" }) F3 o# k, B9 |- `! H# D
6.5 总结
, C# b( X- X, O0 m% C 习题
# B; {6 i& G+ m: p( U! p6 [# t 参考文献
8 B1 h/ l* @; c8 C$ Y7 h$ ^ 第7章 薄膜的吸收和散射测量 & U" w$ z. u' A# m8 \
7.1 激光量热计基本原理* G& X. s [) l( ]+ [" V
7.2 光声、光热偏转法测量薄膜吸收0 e2 I" g5 `4 z
7.3 薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
2 m2 G% R* r1 I7 \+ T; E+ B( _ 7.4 散射光的矢量理论和角分布测量
4 n) f+ ~5 t" R2 x% D# o( ~ 7.5 谐振腔衰荡薄膜损耗检测法* x# y) p0 E5 E2 G( R2 _: c
7.6 薄膜导波传播衰减系数法
2 e* C; y" r8 z% P3 M2 K2 K) ^7 ~ 7.7 总结
5 s, ?* |* Z% {& k; L! g 习题! J) o/ z0 u9 w/ z% B
参考文献0 }: Z# I$ l5 w2 I
第8章 薄膜光学常数的测量 $ n& s# i5 [. m. I N! R5 W7 W
8.1 从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数* E, R) z& Z X! P1 N+ z1 N
8.2 其他薄膜的光学常数测试方法0 [( R$ J W& T; Y* a3 P7 u
8.3 薄膜波导法
0 M6 D! T: k- R6 Q d1 W 8.4 光学薄膜厚度的测试
& A2 X2 {- r4 ], w 8.5 总结
( ~: i: [' [+ W$ j5 t 习题
0 H; W0 ^2 C. Z 参考文献# p4 C8 Q ~2 i
第9章 薄膜非光学特性的检测技术
& G: ?! Z8 d5 F5 s% k 9.1 薄膜的力学特性检测技术# s+ w( L2 B8 ~" \
9.2 薄膜器件的环境试验
k. i* g5 y* o 9.3 薄膜的微结构与化学成分检测
& m! |- X) `5 F6 \* N 9.4 总结
5 y* F2 |+ U( |5 B! b 习题4 h* |# b9 _; N7 e- K
参考文献6 c _5 O" N! z1 O4 a8 q
附录
. K! ?: D+ m( R3 D& H 附录A 复数与复数运算# L* t! D- |5 ?: c; x5 L& |
A.1 复数的概念
7 J' f$ D+ I6 n* z0 @* t) Y3 Q8 C% h A.2 复数的三角函数及指数表示方法4 ~9 s6 G8 I' \
A.3 复数在物理中的运用
% Y" d% t; m/ l 附录B 矩陈及矩陈运算' V C+ V y6 P2 j1 F5 C
B.1 矩陈的定义
0 X' r6 T% k+ p3 G B.2 矩陈运算
+ P# {2 t3 W/ {' E 附录C 光的电磁理论基础) t4 S* Y. w$ B; q D
C.1 振动与波
a# Y9 K9 T* w; t C.2 电磁波
, n& K) F$ r1 |" [+ @3 w8 r8 ` C.3 麦克斯韦方程
. ~3 k3 P+ G. u& T( R: N* T& L6 |0 x C.4 平面电磁波
% F: i8 T7 C% N& h/ o C.5 平面电磁波性质
: C* s! g. |, z1 `( q5 P C.6 电磁波在介质表面的反射和折射 2 \8 Z8 ?5 c* w/ ~
附录D 光的干涉
# d9 D W4 k7 d% _* x. e D.1 波的叠加原理
|2 J; n5 U& F: }& d6 a$ G2 a D.2 杨氏干涉5 S$ P2 y! `; d
D.3 平板的表面干涉
. U& R$ d; U/ I ]) P$ \ D.4 光的空间相干性和时间相干性
) g, T' d. x. Q. n/ w 附录E 光的偏振
( v9 O9 s a% c/ D. ` E.1 自然光和偏振光
: h% E% n7 D/ d2 ~ E.2 偏振光与Jones矩陈
5 | |1 r* y$ M. j E.3 偏振光的获得
. B$ K4 ?4 c: W; B9 ] E.4 偏振光的检验
% C/ q4 L: x* b; N9 W7 E9 m7 Y& z9 o1 l( C9 V4 [
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