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论文标题： 用于制造光学薄膜的先进等离子体源 ! N# \ ~2 h! u- g/ N- V+ y9 a. Y0 h
+ d8 G& O. R) K6 @3 G4 f作者： 尤大纬,中国科学院空间科学与应用研究中心 王宇,中国科学院空间科学与应用研究中心 李晓谦,中国科学院空间科学与应用研究中心 王怡德,北京仪器厂 林永昌,北京理工大学 , m$ @* P6 w6 `& \% x+ J
' U* D/ Z% D/ ^会议名称： 中国电工技术学会第六届学术会议 + f6 g/ j3 @9 F% e) d9 B
7 t* ]+ N R9 @9 R) B
主办单位： 中国电工技术学会
9 ^6 m! ~/ [0 t% v, x; z% Q. N7 v 9 `# ~, N& p V" W6 k
会议时间： 19990600
; Q+ Q5 p, X2 B6 c: A
$ d% P9 N% I+ _" [( a* ^7 {: M9 X会议地点： 北京
+ I0 Y0 \- n: k ; N5 G) s* F: F) s5 }
母体文献： 中国电工技术学会第六届学术会议论文集
. a* v5 ?5 t4 E: s2 M+ Q
3 p+ P9 I4 ]/ M7 N& `3 [3 Q: W出版时间： 19990500
. _ E/ t2 t7 x9 \8 x; q 8 t* {4 i* e1 Q9 g2 V
页码： 553～564
* I' P' ]; U$ {. l% w3 g* _
/ B2 j e, F' ]3 u关键词： 光学薄膜 等离子体辅助镀膜 等离子体源
, b: o& n# J2 g! F ' j- I: a$ W" `2 L B0 c6 w
摘要： 该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。 |
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发表于 2009-7-2 04:49:07
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