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论文标题： 用于制造光学薄膜的先进等离子体源
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作者： 尤大纬,中国科学院空间科学与应用研究中心 王宇,中国科学院空间科学与应用研究中心 李晓谦,中国科学院空间科学与应用研究中心 王怡德,北京仪器厂 林永昌,北京理工大学
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9 V+ ^1 i( D2 b4 F) H会议名称： 中国电工技术学会第六届学术会议
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* P; n9 n7 `4 _8 j0 n主办单位： 中国电工技术学会
7 B$ I) U l& Z8 y# v
+ A& X% x3 {$ Q! Q: J9 r会议时间： 19990600 + \/ K* m8 e9 d3 L1 u& C, Q/ A
3 d1 g! u8 s; H3 E& u" H
会议地点： 北京
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( c' w' i# i; [% O' X6 h母体文献： 中国电工技术学会第六届学术会议论文集 ; q9 f" i6 o3 Z$ Z
- Q% s/ k$ {4 I, b
出版时间： 19990500 , {6 D4 b8 t6 {0 ^3 O6 r$ e, l
8 }9 g- m" v1 R+ I( J& K页码： 553～564
+ N) X3 B) U; u0 S/ F+ F U# A+ G + ]; k3 K# s# ] j' T& N! ^
关键词： 光学薄膜 等离子体辅助镀膜 等离子体源
* f: ^" O( i9 v2 C# L
4 M% X) ], f, }摘要： 该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。 |
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发表于 2009-7-2 04:49:07
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