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论文标题： 用于制造光学薄膜的先进等离子体源 4 q% y6 M* h2 [1 ^* S, P5 ^
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作者： 尤大纬,中国科学院空间科学与应用研究中心 王宇,中国科学院空间科学与应用研究中心 李晓谦,中国科学院空间科学与应用研究中心 王怡德,北京仪器厂 林永昌,北京理工大学
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会议名称： 中国电工技术学会第六届学术会议 7 z7 r( l3 o. u6 f& e
; y% Y. ?& ^" u$ P9 ?8 v主办单位： 中国电工技术学会
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会议时间： 19990600 : {8 V& |0 f/ W* E# P K
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会议地点： 北京 - {" l4 Y% K7 v' ~! U# n
3 n; @9 ~: C( Q5 p+ o$ A
母体文献： 中国电工技术学会第六届学术会议论文集 - f8 s& s5 E! @( r0 Y$ g
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出版时间： 19990500 7 w# y, ~1 U5 G
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页码： 553～564
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关键词： 光学薄膜 等离子体辅助镀膜 等离子体源
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8 k4 F* Z' j) E: R摘要： 该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。 |
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发表于 2009-7-2 04:49:07
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