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论文标题： 用于制造光学薄膜的先进等离子体源 4 B, |9 K* j2 A& u9 x8 c
2 p* f, \9 {- C6 O' T作者： 尤大纬,中国科学院空间科学与应用研究中心 王宇,中国科学院空间科学与应用研究中心 李晓谦,中国科学院空间科学与应用研究中心 王怡德,北京仪器厂 林永昌,北京理工大学 0 Y8 \" _* O1 P* h* @7 c* p
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会议名称： 中国电工技术学会第六届学术会议
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主办单位： 中国电工技术学会
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会议时间： 19990600
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: @ C. U( k, Q4 t会议地点： 北京 7 L4 V" E- @) R/ o0 m
. W& @8 y! i0 P! F4 f, `. o母体文献： 中国电工技术学会第六届学术会议论文集 " _- e. {6 d' r- Y; ?4 B# {
& r- |+ F2 g( i. M6 z& ~5 f4 U出版时间： 19990500
6 ^9 A1 {! i0 L& L, O0 j: X7 E # C& {, w# h2 ]/ c* M$ P
页码： 553～564 ; E2 [2 X! {4 Z& [+ l" y; R( V* `
- J8 [- D8 [/ U! y2 x( G- N# m1 G关键词： 光学薄膜 等离子体辅助镀膜 等离子体源 " I7 m0 Z9 e7 A/ M
' n$ p, U6 t2 b: s) T* b, N
摘要： 该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。 |
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发表于 2009-7-2 12:49:07
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