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论文标题： 用于制造光学薄膜的先进等离子体源
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作者： 尤大纬,中国科学院空间科学与应用研究中心 王宇,中国科学院空间科学与应用研究中心 李晓谦,中国科学院空间科学与应用研究中心 王怡德,北京仪器厂 林永昌,北京理工大学 / ~! U. J& y0 h% O$ r
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会议名称： 中国电工技术学会第六届学术会议
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7 A4 n7 v7 y1 t# @* {/ r; Q3 R& Q主办单位： 中国电工技术学会 ! I. p' B' q5 _& J$ M( z9 b: H
& O' V8 d1 ^( t. d* m/ m3 |4 ]. X; Q会议时间： 19990600 6 M/ I& L# g/ O
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会议地点： 北京 3 n& j4 [* E- `/ {5 k% Q9 e
+ f' l6 x( E0 y( Y母体文献： 中国电工技术学会第六届学术会议论文集
5 D7 f6 Y+ q) L4 _7 Y1 B+ }8 u * b: S9 C' J# g- P9 k
出版时间： 19990500
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5 ?8 l1 I, Y1 }4 e8 s0 @页码： 553～564 ( H1 a% [8 Q4 c
. I5 n8 K6 D' g% K关键词： 光学薄膜 等离子体辅助镀膜 等离子体源
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& p/ U' X6 H) f; n0 M, B摘要： 该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。 |
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发表于 2009-7-2 04:49:07
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