求助: 关于AZO磁控溅射的工艺流程和参数

cs315315

求助: 关于AZO磁控溅射的工艺流程和参数
9 @; b) C( m: \: c2 x/ b( O关于 AZO 磁控溅射的 生产工艺流程和参数
射频 磁控溅射 制造 AZO导电玻璃, 是物理过程,不发生化学反应 不是射频反应磁控溅射
靶材为 陶瓷靶 气体 为氩气
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- r: d  G* j" E有知情人可以发邮件:cs315315@yahoo.com.cn
qq:491559455
万分感谢

yupo54

都靠这个吃饭，谁能随便告诉你

yupo54

多看看文章，查查资料

hj007

根据AZO薄膜性能要求，采用正交试验，对不同工艺参数进行优化。