求助: 关于AZO磁控溅射的工艺流程和参数

cs315315

求助: 关于AZO磁控溅射的工艺流程和参数
关于 AZO 磁控溅射的 生产工艺流程和参数
射频 磁控溅射 制造 AZO导电玻璃, 是物理过程,不发生化学反应 不是射频反应磁控溅射
靶材为 陶瓷靶 气体 为氩气
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有知情人可以发邮件:cs315315@yahoo.com.cn
qq:491559455
: U) w2 `7 Q2 U- W% N8 {6 m万分感谢

yupo54

都靠这个吃饭，谁能随便告诉你

yupo54

多看看文章，查查资料

hj007

根据AZO薄膜性能要求，采用正交试验，对不同工艺参数进行优化。