求助: 关于AZO磁控溅射的工艺流程和参数

cs315315

求助: 关于AZO磁控溅射的工艺流程和参数
0 L. b8 h" }2 y+ J0 \# I( ?- A关于 AZO 磁控溅射的 生产工艺流程和参数
2 ?5 R9 E7 H* h: s. e射频 磁控溅射 制造 AZO导电玻璃, 是物理过程,不发生化学反应 不是射频反应磁控溅射
靶材为 陶瓷靶 气体 为氩气
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" @. p( N, E. e3 ^# K有知情人可以发邮件:cs315315@yahoo.com.cn
8 x- w; V9 f2 wqq:491559455
万分感谢

yupo54

都靠这个吃饭，谁能随便告诉你

yupo54

多看看文章，查查资料

hj007

根据AZO薄膜性能要求，采用正交试验，对不同工艺参数进行优化。