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专业设计 - Z b/ T! b/ m ]6 [: Q: {
1、靶磁路依靠计算机有限元设计,靶材利用率高。
* G, F8 W* R* M+ {) p/ v# G" Q. R: o2、精密的水路设计，钕铁硼与冷却水隔离,靶体温升小,可长时间连续稳定工作。 * u/ ^' d% p' x! Z% C2 o( l$ O
3、靶体完整的电、磁屏蔽可兼容交流溅射和直流溅射。 " u, i% ]4 d4 A
4、先进合理的结构易于安装和更换靶材。 o; @* A1 i8 ?. i: e% Z) s
技术参数：
1 R( q/ F( A- l C 矩形磁控靶面尺寸（mm）： 长：根据用户使用要求 宽：80/100/120/150/200/300 厚度： 1～20 （导磁材料 1～6） 3、最大比功率： ≤20W/cm2 4、工作压强（Pa）： 8E-1～8E-2 7 @( ?) o0 ?' E3 g1 y6 N$ E6 w
) M8 _. C5 M1 ]( }9 X
邮箱：r1533@126.com |
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发表于 2007-12-5 16:06:11
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