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专业设计 1 P+ N4 _- K9 ^9 T2 Y& X4 r8 L
1、靶磁路依靠计算机有限元设计,靶材利用率高。
c- [$ W8 S2 ?% W; U2、精密的水路设计，钕铁硼与冷却水隔离,靶体温升小,可长时间连续稳定工作。 $ W/ t. Y- K4 _/ X8 b o* N6 z
3、靶体完整的电、磁屏蔽可兼容交流溅射和直流溅射。 3 C# q5 m6 o3 X' Q' Z
4、先进合理的结构易于安装和更换靶材。
1 q6 z3 v; N- s& |- l技术参数：+ u" y- }: h: A; N& K
矩形磁控靶面尺寸（mm）： 长：根据用户使用要求 宽：80/100/120/150/200/300 厚度： 1～20 （导磁材料 1～6） 3、最大比功率： ≤20W/cm2 4、工作压强（Pa）： 8E-1～8E-2 5 n; N+ x$ u) ? b5 d t
5 x, w- _; L5 n5 y! _
邮箱：r1533@126.com |
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发表于 2007-12-5 16:06:11
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