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专业设计 p3 M% Y. e2 O9 v7 j& W; ^+ X
1、靶磁路依靠计算机有限元设计,靶材利用率高。3 b: Y3 P9 M* G5 s5 o
2、精密的水路设计，钕铁硼与冷却水隔离,靶体温升小,可长时间连续稳定工作。 + W- r. ^; i( Q7 n& Q5 P8 X: h: `
3、靶体完整的电、磁屏蔽可兼容交流溅射和直流溅射。
1 A# d; l, t0 M. x+ S4、先进合理的结构易于安装和更换靶材。6 e0 ~; ~; c* m i/ F% y: y
技术参数：' D& `& o4 S: A: D
矩形磁控靶面尺寸（mm）： 长：根据用户使用要求 宽：80/100/120/150/200/300 厚度： 1～20 （导磁材料 1～6） 3、最大比功率： ≤20W/cm2 4、工作压强（Pa）： 8E-1～8E-2
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邮箱：r1533@126.com |
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发表于 2007-12-5 16:06:11
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