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专业设计
9 U$ Y# v7 W6 g C+ j4 G1、靶磁路依靠计算机有限元设计,靶材利用率高。$ n; k5 j8 `+ R: D
2、精密的水路设计,钕铁硼与冷却水隔离,靶体温升小,可长时间连续稳定工作。
: @$ G/ b5 v# a2 x0 P% o( X3、靶体完整的电、磁屏蔽可兼容交流溅射和直流溅射。
o) t1 e: J1 |2 P$ S8 `3 u4、先进合理的结构易于安装和更换靶材。, Z4 J3 Z) R- b" ~
技术参数:
) Y( I: h) M6 J u$ U 矩形磁控靶面尺寸(mm): 长:根据用户使用要求 宽:80/100/120/150/200/300 厚度: 1~20 (导磁材料 1~6) 3、最大比功率: ≤20W/cm2 4、工作压强(Pa): 8E-1~8E-2
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3 ]1 c% C9 x, Q, r( O. }, f) L z邮箱:r1533@126.com |
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