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专业设计
' q! \6 d! G( _1、靶磁路依靠计算机有限元设计,靶材利用率高。9 z" s$ |. k9 i& r( T
2、精密的水路设计，钕铁硼与冷却水隔离,靶体温升小,可长时间连续稳定工作。 2 m* U8 l, `6 h& U. U
3、靶体完整的电、磁屏蔽可兼容交流溅射和直流溅射。
. ^! d# A# A9 D0 D4 a4 y; E L4、先进合理的结构易于安装和更换靶材。 A' |5 j; ?* e6 ]5 c* D% Z" t
技术参数：7 b1 I* W3 v$ |1 r7 g" Y0 Y
矩形磁控靶面尺寸（mm）： 长：根据用户使用要求 宽：80/100/120/150/200/300 厚度： 1～20 （导磁材料 1～6） 3、最大比功率： ≤20W/cm2 4、工作压强（Pa）： 8E-1～8E-2 4 ]+ S3 z6 Q- |* B
: K* p' G; \) p, r$ r; [, i5 b
邮箱：r1533@126.com |
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窥视卡
雷达卡
发表于 2007-12-5 16:06:11
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