ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计

ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计
     
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【英文篇名】 Orthogonal Optimum Design of the Technological Parameters for the Preparation of AZO Thin Films
【作者中文名】 葛春桥; 薛亦渝; 郭爱云; 胡小锋; 唐超;
% K. m" U2 ]- ^【作者英文名】 Ge Chunqiao; Xue Yiyu; Guo Aiyun; Hu Xiaofeng; Tang Chao Postgraduate; School of Materials Science and Engineering; WUT; Wuhan 43 0 0 70; China;
9 w& g; |/ l+ L& e【作者单位】 武汉理工大学材料科学与工程学院; 武汉理工大学材料科学与工程学院 湖北武汉　430070; 湖北武汉　430070; 湖北武汉;
, S6 W  V$ S  o* f/ \: \【文献出处】 武汉理工大学学报(信息与管理工程版), Journal of Wuhan Automotive Polytechnic University, 编辑部邮箱 2004年 05期  
% E7 o( _0 c" P- ]期刊荣誉：ASPT来源刊  CJFD收录刊
) O: C2 s3 M8 s2 R7 h5 {【关键词】 AZO薄膜; 溶胶-凝胶; 正交设计;
2 Z& N1 o0 `' {& q; Y3 U" u【英文关键词】 AZO thin films; sol-gel; orthogonal design;
6 a3 V4 q1 J3 P8 c: g; R6 B: h【摘要】 采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。
4 M/ t# i1 C' c3 P  _8 u【英文摘要】 An optimum study of technological parameters for the preparation of AZO thin films by sol-gel is carried out through orthogonal design. Optimum technological parameters are determined, which provide a practicable approach for industrial control of the preparation of AZO thin films.
4 u: v) c9 ]1 m2 z【DOI】 cnki:ISSN:1007-144X.0.2004-05-057

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木头

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谢谢大公无私的楼主

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