ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计+ h& d1 H; z1 r, N. M* P
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! |; g2 d* {. C% \1 I, r0 L【英文篇名】 Orthogonal Optimum Design of the Technological Parameters for the Preparation of AZO Thin Films ( u% y0 B) _0 h& |+ W
【作者中文名】 葛春桥; 薛亦渝; 郭爱云; 胡小锋; 唐超; ! X0 H: w2 z/ V. E
【作者英文名】 Ge Chunqiao; Xue Yiyu; Guo Aiyun; Hu Xiaofeng; Tang Chao Postgraduate; School of Materials Science and Engineering; WUT; Wuhan 43 0 0 70; China;
# F% Q! O' Q5 W* J; B- X【作者单位】 武汉理工大学材料科学与工程学院; 武汉理工大学材料科学与工程学院 湖北武汉 430070; 湖北武汉 430070; 湖北武汉; + a) e$ v. M- B% k. H/ x
【文献出处】 武汉理工大学学报(信息与管理工程版), Journal of Wuhan Automotive Polytechnic University, 编辑部邮箱 2004年 05期 ' R) Q0 }$ O8 k! a. ]
期刊荣誉：ASPT来源刊 CJFD收录刊
4 f3 {% B! Y5 k2 @7 B6 C【关键词】 AZO薄膜; 溶胶-凝胶; 正交设计; , z5 j0 M' w- M' e8 _0 ?% h
【英文关键词】 AZO thin films; sol-gel; orthogonal design;
( X& b* X& H: m+ C* u( _【摘要】 采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。 ' B5 M# k# s- r9 R
【英文摘要】 An optimum study of technological parameters for the preparation of AZO thin films by sol-gel is carried out through orthogonal design. Optimum technological parameters are determined, which provide a practicable approach for industrial control of the preparation of AZO thin films.
7 G! B# C5 r; W1 c【DOI】 cnki:ISSN:1007-144X.0.2004-05-057 |
发表于 2007-11-18 01:23:58
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