ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计

ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计
     
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【英文篇名】 Orthogonal Optimum Design of the Technological Parameters for the Preparation of AZO Thin Films
* q# n2 s# X+ x4 A【作者中文名】 葛春桥; 薛亦渝; 郭爱云; 胡小锋; 唐超;
【作者英文名】 Ge Chunqiao; Xue Yiyu; Guo Aiyun; Hu Xiaofeng; Tang Chao Postgraduate; School of Materials Science and Engineering; WUT; Wuhan 43 0 0 70; China;
【作者单位】 武汉理工大学材料科学与工程学院; 武汉理工大学材料科学与工程学院 湖北武汉　430070; 湖北武汉　430070; 湖北武汉;
& M' S6 w! V- H0 E+ y【文献出处】 武汉理工大学学报(信息与管理工程版), Journal of Wuhan Automotive Polytechnic University, 编辑部邮箱 2004年 05期  
- \$ z4 P% f& f; a# v* O: c期刊荣誉：ASPT来源刊  CJFD收录刊
% c) a# ]. c% y9 V6 w【关键词】 AZO薄膜; 溶胶-凝胶; 正交设计;
5 a% k* ~+ b' o2 v* R' |【英文关键词】 AZO thin films; sol-gel; orthogonal design;
+ f+ t0 j" [3 w( g/ a. c/ P  d【摘要】 采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。
/ y" c2 Z7 r! s) |1 l+ V【英文摘要】 An optimum study of technological parameters for the preparation of AZO thin films by sol-gel is carried out through orthogonal design. Optimum technological parameters are determined, which provide a practicable approach for industrial control of the preparation of AZO thin films.
. R( ^! ]  G& t6 [7 V' X【DOI】 cnki:ISSN:1007-144X.0.2004-05-057

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木头

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sanny_ljq

谢谢大公无私的楼主

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