ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计) g- V' }; z- g0 W! j
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【英文篇名】 Orthogonal Optimum Design of the Technological Parameters for the Preparation of AZO Thin Films
/ k) W# k7 n5 [& J【作者中文名】 葛春桥; 薛亦渝; 郭爱云; 胡小锋; 唐超; . F8 n' u. D. e$ Y7 Q0 g" X" y: s
【作者英文名】 Ge Chunqiao; Xue Yiyu; Guo Aiyun; Hu Xiaofeng; Tang Chao Postgraduate; School of Materials Science and Engineering; WUT; Wuhan 43 0 0 70; China;
# C* O; b, O+ _1 y- O0 F& ^【作者单位】 武汉理工大学材料科学与工程学院; 武汉理工大学材料科学与工程学院 湖北武汉 430070; 湖北武汉 430070; 湖北武汉;
2 D% V* t- [( g: U! c# K4 i+ K【文献出处】 武汉理工大学学报(信息与管理工程版), Journal of Wuhan Automotive Polytechnic University, 编辑部邮箱 2004年 05期
5 _, y5 V7 r; D: N& Z" o期刊荣誉：ASPT来源刊 CJFD收录刊 5 @ j: x: g! [5 _) x* S* y' X
【关键词】 AZO薄膜; 溶胶-凝胶; 正交设计; / e. g" Q- U4 b. \/ m2 e- H2 C- A
【英文关键词】 AZO thin films; sol-gel; orthogonal design;
! r, K( R$ y- |3 c- a6 o【摘要】 采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。
" P [( R8 M! Z1 ~0 P【英文摘要】 An optimum study of technological parameters for the preparation of AZO thin films by sol-gel is carried out through orthogonal design. Optimum technological parameters are determined, which provide a practicable approach for industrial control of the preparation of AZO thin films.
0 z% ^4 }* z0 _. O3 b【DOI】 cnki:ISSN:1007-144X.0.2004-05-057 |
发表于 2007-11-18 09:23:58
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