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北京电子部11所

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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160   liusp@beijingec.com 6\\jhDP@`9  
: i6 \1 E; A* r% c. ^G.CkceWRn  
2 F( n" S. x* E' d测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 JDi\\?m d.  
- ^5 Q$ R4 Q, `3 o- j[I*zZ`  
产品规格 HE>6A|rgDr  
2 `* p3 k' p: r8 `0 Y5 {+ f/ s波长范围：250nm到1100 nm {G _ :#cep  
光斑尺寸：500μm至5mm `;?`XC"m  
* i- z9 p+ Q, w3 @3 C( ~4 v% j+ X/ o样品尺寸：100mmx100mm QahM)Gb  
, t( M( x/ u, P+ d基板尺寸：最多可至50毫米厚 cj=6_k  
测量厚度范围*：5nm-50μm 6Z2a5zO8  
测量时间：最快2毫秒 o Ho@rGU  
精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） pP JhF8Dt  
0 Y2 L, \3 T6 I- e重复性误差*：小于1A :Kc9k(3&r  
HB+{vuN*L  
/ J' h; b9 |1 ^+ d( S, `产品应用: IIrp-EMXJ  
半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) [nL{n bli  
液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..） " n, ? )  
医学，生物薄膜及材料领域等 /XfE6SBz  
( _6 R% ~, W  X5 {5 R, q' k油墨，矿物学，颜料，调色剂等 &w4~0J>v!  
医药，中间设备 =8Bq2.nlR  
7 M! E4 M' M# \; P8 ?( V光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. B4 XN  
半导体化合物 G a1B&@T  
: \1 N/ D* O. o* A* r& h在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 $F^p5EXkc6  
" Z9 q) a, z! E非晶体，纳米材料和结晶硅