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发表于 2010-8-10 20:06:00
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, E1 o8 O5 g1 A4 C测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 JDi\\?m d. # ~3 B! `" x. N+ c: A
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6 D6 N1 `5 L- Z0 r2 t/ n产品规格 HE>6A|rgDr . `( i( n( ^8 @' u+ e2 f5 R
波长范围：250nm到1100 nm {G _ :#cep
/ O; S& G0 ^5 }光斑尺寸：500μm至5mm `;?`XC"m
0 l3 g! X( e" k4 Y# O样品尺寸：100mmx100mm QahM)Gb [: _( U! B9 M% k# [4 a- m* P) b
基板尺寸：最多可至50毫米厚 cj=6_k
5 R' K P5 \' W$ |1 C测量厚度范围*：5nm-50μm 6Z2a5zO8 - c8 I8 a8 M. e9 W- _# `: d$ g
测量时间：最快2毫秒 o Ho@rGU
! V' `! m9 S0 |精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） pP JhF8Dt
5 m/ j- n1 m3 q/ e e/ `$ |重复性误差*：小于1A :Kc9k(3&r
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产品应用: IIrp-EMXJ T2 t D1 |/ m# b0 ^
半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) [nL{n bli
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0 v$ g i. e- e. v; v" F医学，生物薄膜及材料领域等 /XfE6SBz ) U8 T) M' O: A- ^
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- H; ]1 z* s- @1 x% t6 F' N/ E非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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