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Showa 镀膜作业指导书
/ @0 s" v" z" y3 m- }5 e + }6 n/ D3 t1 P7 h1 `
model : sgc-22sa9 { P3 w }" n F; p/ ^
一、 开机前的检查：空压、水压、水流量、水温度、电源。6 r0 P1 _% U u6 a2 R0 j
二、 开机：: }2 j$ c' h# [6 I7 Y: [
1、 将polycold保持自动及待机状态（standby）；
( Y" Y) c; P+ n% p7 G2、 将主机电源开启；; z5 h- u7 z* D9 e: [9 P% G) p/ e
3、 pump on 按下，指示灯亮
' D f# n& M; x% ?8 N4、 RP、 MBP、 FV 、DP指示灯顺序点亮。# a/ w/ [2 d# U$ M$ e. g+ @
5、 Dp扩散开始加热，冷阱自动开启+ u7 {4 u7 c* @! {+ e
6、 当dp加热温度达到设定温度后，设备可以作业
8 r: J8 _7 i! s" \; l三、 操作顺序：1 K3 P! L7 c* s" t! a4 p
1、 清洁真空腔内部，坩埚内放入镀膜药材，将被加工工件放入回转机构。) e2 j |& k: N) C+ z
2、 按start进行排气，开始初抽，约3.5分钟后，chamber和dp的parami 真空计中黑针通过绿针，此时初抽关闭，主抽开启。0 \8 b: H9 \. }) j( j! G1 T
3、 polycold开始工作。9 B! K- E2 z" x9 \9 G
4、 主抽后可以开启冷阴极真空计和电离真空计，并确认真空度。# L' k. \ C$ U4 {8 b! |3 B' K
5、 当真空度达到需要真空度时，可以镀膜。9 |3 h" [3 z2 K8 D5 x
6、 开启电子枪，开启RF电源。9 B1 K: a# \! H; T/ L" U3 O
7、 开启氧气供给器。
+ n Q! ~5 R8 c- Z: n& W4 }% f8、 开启电脑
9 o: F; P3 ?$ F9、 选择要加工的文件名
/ x$ g R( _, {8 @4 \4 f" R7 H9 n10、 镀膜
* J8 A! C- z& U1 t5 ^* r11、 第一面蒸着完成，翻面* w8 b% J6 D8 O/ w7 z1 u) ?
12、 加工第二面+ \0 s* K0 `" d
13、 镀膜完成后，等待约三分钟左右，目视镀膜药材不为暗红色时，破真空。6 U& l( N' M4 T: Y0 ~
14、 polycold 的温度下降到常温2 `! ~( b: k6 i8 c7 T
15、 取出工件。0 u5 M7 u9 I, h+ p0 w$ w
16、 进行下一次蒸着。3 i, g3 d/ p( e0 {% T1 ?8 e
四、 关机顺序。
- u/ d( Q! x1 a- s5 V/ T: s1、 让真空腔保持真空状态8 v6 K! ^2 @: Y& q6 Q9 Y
2、 将polycold 保持手动和待机状态
% I1 F& C! B* ]; z3 h2 C3、 关闭dp电流
$ x l: T) O: N5 `4、 pump off灯亮6 o! d, ?$ `0 o H) ]4 C
5、 关机时间约1.5h |
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发表于 2006-2-19 08:09:45
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发表于 2006-4-14 21:40:05
