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Showa 镀膜作业指导书
# @9 O+ ^$ b+ M m
) S/ Y, T% F8 t# Kmodel : sgc-22sa
6 U+ @* A5 ^1 A一、 开机前的检查：空压、水压、水流量、水温度、电源。
( L# Z9 H' G9 M2 u" n, Z二、 开机：
3 Z# [8 ~ z5 J4 q7 M+ Q1、 将polycold保持自动及待机状态（standby）；
' @7 w! \0 k7 G1 j- P% G2、 将主机电源开启；6 L- ~$ m) q5 Q" D9 v) v } `- y: Q
3、 pump on 按下，指示灯亮. ~6 D) ^" f" F. {1 K& ^
4、 RP、 MBP、 FV 、DP指示灯顺序点亮。
: n4 m& y6 |9 p& I9 {4 R5、 Dp扩散开始加热，冷阱自动开启
- h' |) Y7 A2 e6 j- ~( l b" X6、 当dp加热温度达到设定温度后，设备可以作业, W7 H m( Q5 e' s- h+ c
三、 操作顺序：
1 K# d+ w9 ]' Y) @2 F0 f$ ?7 n/ S1、 清洁真空腔内部，坩埚内放入镀膜药材，将被加工工件放入回转机构。
1 C! u2 r# Q0 u; ?( k$ _2、 按start进行排气，开始初抽，约3.5分钟后，chamber和dp的parami 真空计中黑针通过绿针，此时初抽关闭，主抽开启。( i$ W8 r2 s# Y5 D _
3、 polycold开始工作。
p1 w- ]5 x+ n: ?! B4、 主抽后可以开启冷阴极真空计和电离真空计，并确认真空度。
$ j0 B5 V. @7 U& h m9 S5、 当真空度达到需要真空度时，可以镀膜。; l$ P' s1 ?5 H1 n0 w# C S
6、 开启电子枪，开启RF电源。
, Z' W# s" W7 e( ~; u7、 开启氧气供给器。
! n1 k( g# T+ Z% q' a y" \) l8、 开启电脑/ [6 |% l# W2 J
9、 选择要加工的文件名$ Q5 q1 ] Q& Z/ Z
10、 镀膜
) E3 U5 m3 L! s. i5 r& o1 x11、 第一面蒸着完成，翻面
4 x: j+ x# b9 n" l12、 加工第二面- g( r0 E- P$ W" `5 }
13、 镀膜完成后，等待约三分钟左右，目视镀膜药材不为暗红色时，破真空。
* T4 @( c) g8 u1 v$ O14、 polycold 的温度下降到常温
# c( A2 b" L6 V. @5 `15、 取出工件。
, v8 u8 l" W9 u* X16、 进行下一次蒸着。3 C+ T& ~/ e/ e+ ^8 o
四、 关机顺序。
" a) v7 h7 B2 Y4 O1、 让真空腔保持真空状态
4 E( L$ C/ m1 ^( \. d/ [2、 将polycold 保持手动和待机状态
3 @4 e. @" E1 y) z) V3、 关闭dp电流' O; h3 Z0 H4 { E8 Q4 e5 |
4、 pump off灯亮
z P. v) G% O. r `5 ]* p3 ~& F( g5、 关机时间约1.5h |
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雷达卡
发表于 2006-2-19 08:09:45
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发表于 2006-4-14 21:40:05
