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Showa 镀膜作业指导书
1 [; j$ U+ m: n1 K4 a
0 R& K* ~1 w+ gmodel : sgc-22sa8 `& _& f5 Y8 _, P
一、 开机前的检查：空压、水压、水流量、水温度、电源。9 |) \2 @1 V7 v8 P* ~: r' a
二、 开机：
/ l+ f) ]" A, h1、 将polycold保持自动及待机状态（standby）； d/ D0 \: e8 J a4 \
2、 将主机电源开启；
/ ~3 S- A5 u1 G3、 pump on 按下，指示灯亮
+ T; e5 ]$ V& ^4、 RP、 MBP、 FV 、DP指示灯顺序点亮。$ Z6 r( u$ `: @! T$ |# a4 [. J* d
5、 Dp扩散开始加热，冷阱自动开启' n7 |' T$ D4 [' h2 Y3 B
6、 当dp加热温度达到设定温度后，设备可以作业
* c- h4 F% T/ d2 ~% h B" M$ n( n三、 操作顺序：$ C a. ]( O) [5 |1 A! H
1、 清洁真空腔内部，坩埚内放入镀膜药材，将被加工工件放入回转机构。# \% s7 _2 L( `4 A1 p( q; p: {
2、 按start进行排气，开始初抽，约3.5分钟后，chamber和dp的parami 真空计中黑针通过绿针，此时初抽关闭，主抽开启。- u& ]4 p; i4 g; O7 O) ~5 v
3、 polycold开始工作。# [, c, k1 v7 e. [' M
4、 主抽后可以开启冷阴极真空计和电离真空计，并确认真空度。 W: j0 {" d" _4 X
5、 当真空度达到需要真空度时，可以镀膜。
8 x9 ^8 Q( h% Z6、 开启电子枪，开启RF电源。4 h* q! [8 Z' f; W) I$ Y+ U
7、 开启氧气供给器。5 j& B3 w+ n+ T8 t
8、 开启电脑
3 @7 A2 ?1 d2 h6 O# _6 e; k9、 选择要加工的文件名
7 ]2 a& u1 n8 }9 I( M- o10、 镀膜
" S! E0 v& f O8 U( C11、 第一面蒸着完成，翻面
3 f) u0 U8 a: j* p0 ]12、 加工第二面' a* _; m0 A. b0 `7 ]) p% X: o% q, J
13、 镀膜完成后，等待约三分钟左右，目视镀膜药材不为暗红色时，破真空。
" Q( [4 C- e) N6 x3 M+ p' w14、 polycold 的温度下降到常温
6 L5 |4 K8 _, I- `5 E! [15、 取出工件。
8 h3 s6 i% {" x2 I5 N! a/ x16、 进行下一次蒸着。
5 a" Q: g0 m- \$ ]6 k" ?四、 关机顺序。
; `, N6 V: C* J5 o- C' p9 e ]5 u' M8 i1、 让真空腔保持真空状态6 B1 |" R0 U- Y
2、 将polycold 保持手动和待机状态: D$ v& Y* Z+ B$ Z3 `
3、 关闭dp电流
. v$ f$ z; q! ~+ T( A/ v4、 pump off灯亮9 M) W% K) G* p$ v; U2 y
5、 关机时间约1.5h |
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发表于 2006-2-19 08:09:45
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发表于 2006-4-14 21:40:05
