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Showa 镀膜作业指导书6 m% z$ `- z T: ?
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model : sgc-22sa0 i, k& e0 F+ ~! G/ r0 u
一、 开机前的检查：空压、水压、水流量、水温度、电源。# \. M$ K9 ?4 W/ J0 D7 Y7 C; [
二、 开机：/ `2 K. }/ ^5 J
1、 将polycold保持自动及待机状态（standby）；
+ J. Z' S( h3 `& e- N* W& f4 W, G2、 将主机电源开启；2 y/ U; I5 k, m1 w
3、 pump on 按下，指示灯亮" t$ C! N9 w8 _+ i) K1 {' F
4、 RP、 MBP、 FV 、DP指示灯顺序点亮。4 W# a9 N; u' T; Y& h
5、 Dp扩散开始加热，冷阱自动开启0 O5 B/ k/ n0 ? a& h, l
6、 当dp加热温度达到设定温度后，设备可以作业( W* R) W6 A7 H& v4 O
三、 操作顺序：5 x9 Q4 T8 l8 y# I8 I; d
1、 清洁真空腔内部，坩埚内放入镀膜药材，将被加工工件放入回转机构。
6 Y) Q5 [0 M( t' E0 F( r( x$ z8 M2、 按start进行排气，开始初抽，约3.5分钟后，chamber和dp的parami 真空计中黑针通过绿针，此时初抽关闭，主抽开启。" [! c$ i* q# p9 k: w$ U
3、 polycold开始工作。
( ~( n/ r8 w6 I' L/ K7 H8 n4、 主抽后可以开启冷阴极真空计和电离真空计，并确认真空度。
0 x7 W5 j! i$ J; z4 x5、 当真空度达到需要真空度时，可以镀膜。
2 W& s7 m' }6 K" r+ U6、 开启电子枪，开启RF电源。
4 k3 B4 E2 ?- K1 t$ e" W7、 开启氧气供给器。
2 u6 @* C. t6 i6 @' S9 Y# p$ n3 W8 y8、 开启电脑
R& U5 a6 a! x* o9、 选择要加工的文件名* |0 S; N, ^3 ]% f
10、 镀膜, G. j$ L6 ?3 w3 z
11、 第一面蒸着完成，翻面
4 p$ {4 c/ {, U" j% K T) m s12、 加工第二面/ V" w7 i& l+ ]" G% y K) [% Y
13、 镀膜完成后，等待约三分钟左右，目视镀膜药材不为暗红色时，破真空。( M7 B& z2 J4 q9 U
14、 polycold 的温度下降到常温
! A9 t# Z% H6 |* |0 Q1 i3 S1 C15、 取出工件。
; L! s8 y; O! i* }16、 进行下一次蒸着。3 A8 O2 H& g9 I: e# u: h' X$ l1 F
四、 关机顺序。8 j) Z/ B! [) b2 i- B
1、 让真空腔保持真空状态
: ^+ q/ s8 X1 T8 B# {( J8 \# l2、 将polycold 保持手动和待机状态
, u% n5 x) P" Y$ m2 Q' F7 Q+ @3、 关闭dp电流6 d2 C7 Y) |4 P O7 \) B+ s
4、 pump off灯亮/ Q: k, G3 l$ Y' ?' n% V+ M0 i
5、 关机时间约1.5h |
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发表于 2006-2-19 08:09:45
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发表于 2006-4-14 21:40:05
