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Showa 镀膜作业指导书
+ Q. ]% s$ V' L7 @4 D2 C. O
" n4 K$ H z( w: Q2 m: |model : sgc-22sa
- P& b# [+ @# Q( z1 ^+ N; r一、 开机前的检查：空压、水压、水流量、水温度、电源。
. G( `. g+ I* X& k* P# O二、 开机：
$ j2 @' F# F. Q1、 将polycold保持自动及待机状态（standby）；
; g% H B# T }7 n5 X9 w, h2、 将主机电源开启；7 F( [% | f8 L
3、 pump on 按下，指示灯亮
8 c! l% P( ]: N* S% t4、 RP、 MBP、 FV 、DP指示灯顺序点亮。
0 c. x- i- y# s# {- @% h5、 Dp扩散开始加热，冷阱自动开启5 c( [- s& [+ k5 ?+ z
6、 当dp加热温度达到设定温度后，设备可以作业5 c2 s6 Q' h7 K. a$ X
三、 操作顺序：
, w' q' ]0 S; N& ?' D. |6 N1、 清洁真空腔内部，坩埚内放入镀膜药材，将被加工工件放入回转机构。
% D* U; |) W; }& `2、 按start进行排气，开始初抽，约3.5分钟后，chamber和dp的parami 真空计中黑针通过绿针，此时初抽关闭，主抽开启。
/ F9 {: l. |+ q/ l% s2 l3、 polycold开始工作。
L, v9 s3 u! ~# v4、 主抽后可以开启冷阴极真空计和电离真空计，并确认真空度。
/ ^' B+ {4 h6 m) j5、 当真空度达到需要真空度时，可以镀膜。
% @) q, H+ x* l6、 开启电子枪，开启RF电源。" \' J9 P4 `8 W1 F9 J5 C
7、 开启氧气供给器。
2 @& B1 f4 G$ n5 h- t+ D) c9 Z8、 开启电脑5 N/ d) k* F( c/ S" T3 u
9、 选择要加工的文件名
: a: g& s2 o0 z( R) X10、 镀膜' n% k9 [5 h) b9 s- u1 W
11、 第一面蒸着完成，翻面
7 ?2 w$ K9 {: k2 j- F12、 加工第二面$ \7 Y+ l5 P& O1 z+ K
13、 镀膜完成后，等待约三分钟左右，目视镀膜药材不为暗红色时，破真空。6 a* G4 L+ W, O; D6 N
14、 polycold 的温度下降到常温
! Q" U4 S" |: y. j q1 g15、 取出工件。
2 _6 X( \( q, N j3 _8 } Z. x16、 进行下一次蒸着。
- s% s6 |+ `! |) l# S四、 关机顺序。
1 @3 ]* d1 \7 _* U! w; N1、 让真空腔保持真空状态5 U6 [ p& g; H. W
2、 将polycold 保持手动和待机状态
2 Q- H! q# Q4 E% Y% T# ~1 k& i3、 关闭dp电流
8 P2 m- o! ~7 E, Z+ I4、 pump off灯亮
1 k/ `/ t- r1 {2 e5、 关机时间约1.5h |
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发表于 2006-2-19 16:09:45
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发表于 2006-4-15 05:40:05
