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Showa 镀膜作业指导书
! f G k. l3 |7 c3 d- R; F. W
7 c( \, U+ g+ f) |% x$ Kmodel : sgc-22sa7 g$ W g8 B0 Q% L: F& ^9 |
一、 开机前的检查：空压、水压、水流量、水温度、电源。
( }# s/ u) R1 [0 b. ?二、 开机：
: k. t. w3 {" l- P0 w1、 将polycold保持自动及待机状态（standby）；, \; E% u3 ]; C0 R" x; W
2、 将主机电源开启；
+ e- e: e3 Z, ]4 f4 ?3、 pump on 按下，指示灯亮# R0 V( F- W8 q) t! M. G" }
4、 RP、 MBP、 FV 、DP指示灯顺序点亮。5 X3 h) _4 u9 j( z6 O! {7 Q& z2 _
5、 Dp扩散开始加热，冷阱自动开启
2 ] Q( y- ^6 K% V2 H4 M6、 当dp加热温度达到设定温度后，设备可以作业1 n1 {& q# G8 M0 |& D
三、 操作顺序：$ f2 |- \* q2 m
1、 清洁真空腔内部，坩埚内放入镀膜药材，将被加工工件放入回转机构。; L# t3 _' r% q5 P/ Y c& F: {6 f
2、 按start进行排气，开始初抽，约3.5分钟后，chamber和dp的parami 真空计中黑针通过绿针，此时初抽关闭，主抽开启。% `; l/ X0 [4 y- Z6 l
3、 polycold开始工作。
6 q' i q- g. h& p6 y1 x& U4、 主抽后可以开启冷阴极真空计和电离真空计，并确认真空度。, V0 N/ [6 |2 q0 `$ R
5、 当真空度达到需要真空度时，可以镀膜。
; _8 e/ T! f) k9 w2 i6、 开启电子枪，开启RF电源。: [5 A& e0 M$ d5 ?
7、 开启氧气供给器。. l$ W9 d- G+ p) _/ Y9 R% o4 y
8、 开启电脑
1 C( d) o- U) W$ q. [- t9、 选择要加工的文件名
6 [$ ^% ?, J+ c* z$ q: T10、 镀膜! v, t: I4 M9 b- Z* G7 N( C. M
11、 第一面蒸着完成，翻面9 [/ I, w! [" J9 d0 B9 g: Z
12、 加工第二面. u1 r. t5 P: ~) w
13、 镀膜完成后，等待约三分钟左右，目视镀膜药材不为暗红色时，破真空。% K5 e' S2 w# b" {" N
14、 polycold 的温度下降到常温7 P) p: y/ m n# b( G$ k& c
15、 取出工件。. ~1 u3 Q3 D8 @& l1 v0 A( ]9 Y; s
16、 进行下一次蒸着。
X" a/ b: }3 f/ m' g. \四、 关机顺序。
5 Y, s$ ^6 m4 _ p H# b* L3 x* p1、 让真空腔保持真空状态" B) z# \. X' I7 M3 u
2、 将polycold 保持手动和待机状态7 J# b/ F7 D) @( G! }
3、 关闭dp电流
5 X* n6 O0 z' m4、 pump off灯亮! N1 z+ N6 e" x/ ]1 ~: E+ \( O+ b: w
5、 关机时间约1.5h |
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发表于 2006-2-19 08:09:45
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发表于 2006-4-14 21:40:05
