fanyushan
发表于 2009-7-9 04:30:25
1.靶中毒（表现：磁控电压低于300伏）
2.。。。
valle
发表于 2009-7-14 23:33:48
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
真空度、绝缘、气体等都会的
yupo54
发表于 2009-7-30 21:38:34
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
你是直流溅射还是射频溅射啊
yupo54
发表于 2009-8-4 22:27:22
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
在好好检查设备
fanyushan
发表于 2009-8-4 22:42:37
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
问题描述清楚一点呀，给出工艺参数，电源类型等，不然的话怎么救你？？？
杨方
发表于 2010-8-31 03:51:07
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
不知道你的电压显示多少，如果电压过高，肯定是短路了。
朱小朱
发表于 2010-9-8 23:25:15
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
不错学习了
yunt
发表于 2010-9-10 21:57:28
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
可能靶材中毒
le200571
发表于 2011-2-21 17:14:57
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
一会再说，看是否一样
le200571
发表于 2011-2-21 17:17:37
Re:紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊 谢谢了
基本想说的别人都说了
