紧急求救：磁控溅射不起辉是什么原因啊谢谢了

fanyushan · 发表于 2009-7-8 20:30:25

1.靶中毒（表现：磁控电压低于300伏）
2.。。。

valle · 发表于 2009-7-14 15:33:48

真空度、绝缘、气体等都会的

yupo54 · 发表于 2009-7-30 13:38:34

你是直流溅射还是射频溅射啊

yupo54 · 发表于 2009-8-4 14:27:22

在好好检查设备

fanyushan · 发表于 2009-8-4 14:42:37

问题描述清楚一点呀，给出工艺参数，电源类型等，不然的话怎么救你？？？

杨方 · 发表于 2010-8-30 19:51:07

不知道你的电压显示多少，如果电压过高，肯定是短路了。

朱小朱 · 发表于 2010-9-8 15:25:15

不错学习了

yunt · 发表于 2010-9-10 13:57:28

可能靶材中毒

le200571 · 发表于 2011-2-21 09:14:57

一会再说，看是否一样

le200571 · 发表于 2011-2-21 09:17:37

基本想说的别人都说了

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