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发表于 2007-3-15 20:29:24
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薄膜测量的椭偏仪法2 E, h7 Q( i2 @$ \; [* m
杜学东1,王 红2
4 y" p% m0 @/ b, H! D+ u5 e(1.唐山师范学院 国有资产管理处,河北 唐山 063000;2.河北师范大学 数学系,河北 石家庄 050051)
2 x$ S! M/ a" R3 h; @& v, r% v摘 要:简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理,分析了其系统误差。1 `9 e* F2 L/ ~9 y! z
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