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发表于 2007-3-16 04:29:24
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薄膜测量的椭偏仪法( M* \9 g- r) m9 ~- c
杜学东1,王 红2. i9 {0 X; U, z, |* E2 [6 ?8 u+ o
(1.唐山师范学院 国有资产管理处,河北 唐山 063000;2.河北师范大学 数学系,河北 石家庄 050051)$ @$ Z" i1 G$ E: `9 ?: {) ?5 I
摘 要:简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理,分析了其系统误差。
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