全国薄膜技术学术研讨会会议纪要

xx_912 · 发表于 2006-8-24 01:54:19

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<title>一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成</title>

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 四年一度的，由中国真空学会薄膜专业委员会、宁波市科学技术局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新公司等联合主办，并由中国电子学会半导体与集成技术学会、中国电子学会电子材料学会、中国电子学会量子电子学与光电子学会、中国光学学会薄膜专业委员会、中国物理学会表面与界面科学学会、中国机械工程学会气相沉积技术委员会、中国材料研究会、中国仪器仪表学会工艺学会、中国机械工程学会表面工程技术委员会等协办的“TFC'03全国薄膜技术学术研讨会”已于2003年9月14——18日在宁波市甬港饭店胜利召开。来自全国22个省、市、自治区和香港等地的大学院校、科研院所、真空设备企业、相关的国外企业代表处或代理处等方面的代表226人参加了会议。与会人员具有广泛代表性，既有老、中、青的科技工作者，又有国有和民营企业家，还有30余位博士生和硕士生到会。

 

 本次会议邀请了柳百新、闻立时、徐滨士、梁骏吾等四名院士和范玉殿教授、王永康研究员组成了大会指导委员会，并由主办和协办单位36名代表成立了大会组织委员会。中国真空学会薄膜专业委员会主任潘峰教授担任大会主席，谭宁任大会秘书长。会议分三天进行，15日会议举行了1小时开幕式，薄膜专委会主任潘峰教授致开幕词，中国真空学会理事长庞世瑾先生、宁波市政府副秘书长王永康研究员分别致祝贺词。随后，研讨会交流和探讨了四年薄膜领域重要的发展和未来趋势。邀请了在国内外知名的专家作了15个大会报告，像薛增泉的“纳米功能薄膜材料”、邱勇的“有机半导体薄膜与器件”、徐可为的“薄膜材料与性能表征的若干研究进展”、叶志镇的“ZnO合金薄膜材料及其研究进展”、陈国平的“大面积磁控溅射技术的最新进展”等报告，介绍了近四年来我国薄膜领域所取得的有特点、有前景的研究和产业方面的新成果。接着，研讨会分为信息功能薄膜；纳米薄膜及薄膜基础问题；硬膜及相关性能；镀膜技术及应用等四个专题分会场报告，分别介绍了各自研究小组在磁性薄膜、透明导电膜、表面声波材料与器件、光波导薄膜、红外探测薄膜等方面的研究和应用；在碳纳米管、纳米SiC、TiO2、Si、从头计算和分子动力学研究薄膜的性能和结构等方面的新进展；在类金刚石、引线框架材料、离子束表面改性等方面的新进展；在脉冲偏压、离子源、等离子体增强沉积和真空技术等方面新技术的开发和应用。自今年4月份征集论文以来，收到论文120余篇，会议发表论文116篇。内容涉及到薄膜科学与技术的各个领域，一些研究成果既有当前的热点，又有难点。从多方位反映了当前的薄膜科技与薄膜产业发展情况，包括了高、新、尖技术的应用与推广，获得了与会代表一致好评和欢迎。

 

 会议期间9月15日晚上召开了中国真空学会薄膜专业委员会的工作会议，学会理事长庞世瑾先生、与会的专委会委员和分会场主持人等30余人参加。讨论了专委会今后活动和未来发展，取得了一致意见。1）传达了中国真空学会换届意见，要求各位委员积极推荐相关交叉学科的中青年科技工作者，作为新一届委员人选，并做好新老交替工作；2）经秘书长谭宁提议，为了开展学会活动的需要，增补浙江大学材料系韩高荣教授为专委会副主任，得到与会委员一致同意，报中国真空学会批准；3）2004年下半年在西安召开一次工作会议，讨论下一届专委会人选和学会有关的活动安排，会议将由西安市科技局、西安交通大学承办；4）会议原则上同意王怡德委员关于常年举办真空技术培训班的初步意见，每年办班6——10次，10天为一期，请国内的知名专家撰写教材，进一步提高薄膜产业界从业人员素质。并有一家民营企业自愿提供教室和设备等办学条件，培训合格后，由中国真空学会办公室向中国科协申办继续教育证书；5）原则上同意范垂祯委员关于争取“薄膜科学与技术”复刊和建立“中国薄膜网站”的初步建议。会后由承办单位——深圳豪威真空光电子股份有限公司开始运作，制定实施方案，报薄膜专委会审议和上级批准。

 

 会议期间还安排了产业技术交流会，薄膜专委会希望通过这样的活动促进科研院所和企业之间的交流，使科研成果能够尽快转化为生产力。会议由美国DENTON

 VACUUM公司、美国AE公司、德国HUTTINGER公司和国内三家企业的介绍。另有十几家企业散发了资料。尤其，具有世界先进水平的真空镀膜设备，相关的先进电源等产品介绍，受到与会代表的欢迎，不仅从整体了解当前国际上镀膜设备发展的现状，而且增添了代表追赶世界先进水平，科技创新的目标和信念。

 

 17日下午组织代表参观了宁波市科技园，在开幕式上王永康副秘书长的讲话和华伟常务副主任的现场介绍，加深了代表对宁波市和宁波市科技园的了解。宁波是首批优秀旅游城市、历史文化名城、较早对外开放的沿海港口城市、计划单列市和副省级城市，并相继获得了国家环保模范城市、全国社区建设示范城市、全国创建文明城市工作先进城市等荣誉称号。2002年实现GDP1500.3亿元，居全国副省级城市的第六位。进出口总额122.7亿美元，港口吞吐量1.58亿吨，居大陆沿海港口第二位。改革开放造就了宁波引以自豪的宁波港、宁波帮、宁波景、宁波装“四张名片”。16.9平方公里的宁波市科技园1999年建立以来，吸引了大量的科技人才，有150多位博士入住创业，科技园已初具规模，取得了骄人的成绩。宁波市、宁波市科技园的发展和未来给每位代表留下了深刻的美好印象，代表为宁波市高科技发展的决心和规划感到鼓舞，也为我国全面建设小康社会受到了鼓舞。

 

 利用会议期间科技工作者集中的机遇，中国真空学会现场办理了40余位老会员的重新登记和新会员的入会申请工作。

 

 短暂的三天会议开得紧张热烈、相互切磋频繁、学术气氛浓厚。会议展示了我国近几年薄膜科学与技术的研究和发展的最新成果，新材料、新设备、新工艺对航空航天、国防、电子信息、能源、建筑、机械等部门起到了至关重要的作用，薄膜技术应用也对经济建设起到了不可替代的作用，薄膜科技成果也必然对表面改性、表面科学和材料科学的发展作出积极贡献。同时积极推动了我国薄膜产业进一步发展。会议促进了学术界与企业界的联系，增进了相互的友谊，大家纷纷表示共同努力，使我国的薄膜科技获得长足的进步。与会代表认为会议提供了良好的技术交流、信息交流的平台，会议内容丰富、信息量大，相互切磋，收益非浅，学会为产、学、研等方面的科技工作者服务办了一件实事。随着科技和经济建设的飞速发展，代表还建议缩短每届研讨会的间隔时间，薄膜专委会已接受这一建议，将四年改为二年一届，明年的工作会议就将讨论2005年全国薄膜技术学术研讨会的举办地，筹划好下一届会议。

 

 本次会议是我国薄膜科技界、企业界欢聚一堂的又一次盛会，会议取得了圆满成功。借此机会，向宁波市政府、宁波市科技局、宁波市科技园的大力支持表示衷心地感谢！向浙江大学、清华大学、北京北仪创新公司的支持和付出的辛勤劳动表示深深的谢意！

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 中国真空学会薄膜专业委员会

 

 2003年9月25日</td>

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