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# W, W2 t) \# |3 _2 a# \/ X<title>一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成</title>
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, i- }; C. s0 f" r <p style="line-height: 150%"><font size="2"> 摘要:磁控溅射已经成为沉积薄膜的最重要的方法之一。然而,这种镀膜技术亦存在一些缺点(例如,有限的溅射产额和反应溅射过程中等离子体不稳定等问题),所以它不适宜于在介质膜工业生产中应用。本文介绍了一种新的中频(MF)电源供电的孪生靶磁控溅射。采用这种技术并结合智能化的工艺控制系统(IPCS)特别对于反应沉积化合物镀层开辟了许多新的机遇,它能够在长期内获得沉积速率并处于稳定的镀膜状态。因此,大面积镀膜在建筑玻璃、汽车玻璃和显示器方面的应用就有了明显的进展并具有广阔的前景。</font></td>5 I5 v9 F6 L8 r0 x% t; u
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