美国真空镀膜学会43届年会部分论文摘要（一）

xx_912 · 发表于 2006-8-24 01:53:48

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一、工程塑料基底上有机发光二极管器件的制备 

G L Graff et al（Northwest National Lab. WA） 

为了研制聚合物软基底上的显示防护膜，常常会接触到许多诸如低气体渗透率、导电性好的透明电极、抗化学腐蚀、热稳定性、耐磨性在内的性能说明。本底聚合物材料的氧和水气的渗透率太高会影响其在LCD（液晶显示器件）和OLED（有机发光二极管器件）中的应用。渗透率的允许值取决于专用显示工艺的灵敏度。一种交替镀有有机聚合物和金属氧化物的多层膜系，已使氧和混合气体的渗透率低于市售仪表的测量下限（即小于0.005 cm3/m2·天（O2、H2O））。这类高透明度的多层超阻挡膜采用旋转式真空沉积技术沉积的。有机化合物的真空蒸发形成多层聚合物膜（PML），原位聚合物采用有机层沉积。PML膜的阻挡过程适用于聚合物范围，优良的介电特性可以选用不同的基底得到，柔性的 OLED已采用超介质基底研制和应用成功。这类特殊的介质层由 Al2O3和SiO2组成，采用了新型的双元电子束蒸发工艺。这类膜有很好的介电性，特别柔软，无色彩透过。其次，介质层和基底的有机尼龙膜（ONY）之间的粘附性能也因ONY表面性能的优化而改进。一种陶瓷镀ONY膜具有如下的特性：氧渗透率小于2 cm3/m2·atm·天；粘附性大于500 g/15 mm；色度：0.8；传动速度大于400 m/min。给出了SiO2 –Al2O3膜的理论和实验结果。 

 

二、透明Al2O3和ITO膜的显微结构和气体阻挡特性 

B M Henry et al（Uinversity of Oxford，英国） 

与柔性塑料基底特性有关的透明金属氧化物膜的显微结构和气体阻挡特性是食品、医学器械包装、平板显示工业最关心的问题之一。沉积的陶瓷层可以形成许多特性，其中包括透明、微波谐振、导电性能，其次还有健康保证和环保等问题。然而这些氧化物膜的相应的气体阻挡特性是由象纳米孔这类缺陷所决定的。薄膜组分和厚度对完美的显微结构和气体、阻挡特性的影响是不尽相同的。为此，全面了解氧化层的显微结构是特别重要的。采用几种表面分析技术研究了在PET上的Al2O3、ITO膜的显微结构特性，这些分析技术包括透射式电子显微镜（TEM ）、扫描电子显微镜（SEM）、二次离子谱仪、原子力显微镜。利用介质层的显微结构对O2、H2O的渗透率的测量进行了修正。 

 

三、塑料上卷绕沉积多层光学膜 

M Fanland et al（Fraunchofer Institute Electronenstrahlund Plasmatechnik (FEP),德国） 

显示和汽车行业对复杂光学镀膜系统的需要正在日益增长。SiO2和TiO2都是十分重要的单层膜材。在不同领域已有广泛的应用。双磁控溅射工艺足以保证它们的膜层稳定而有效的沉积。多室真空卷绕镀引入这个工艺已由机械设计和远程控制设备按特殊要求所完成。介绍了一些与此有关的问题。特别着重介绍了在一个低温鼓上采用几个双磁控溅射台特别均匀沉积光学膜的问题。介绍了光学在线监控系统的活性反应概念。结果表明在夫朗和费电子等离子体技术研究所解决了大面积卷绕镀膜的制备和质量问题。 

 

四、卷绕式真空镀膜机的系统设计中的某些问题 

C A Bishop et al（英国Consulting Ltd.） 

长期以来，人们听到对生产过程的怨声多，却很少听到对它到底有什么期望？一个工作已数月或更长的新生产线面临着重新安装、降低产品成本、增加资金流动等问题。这是为什么？主要是因为在实验室和生产线之间增加许多东西所造成的，或多或少会对生产产生影响。有时还期望生产线能更快一些，因此，有一个生产线更加有效的原因。这就意味着生产线的目标是更多、更快、更好，实际上这是难以兼顾的。其次，成本过高、设计更复杂等问题会相应产生，需要生产廉价的生产线。由于初期设计决不会获得成功，因而应当综合评价这些考虑的优点。提及了常常出现的问题并指出生产线应当怎样设计才能解决这些问题。

 



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