|
<html>
$ I/ i9 `2 P. ]5 w, Q
( A. I) P0 y) `$ |2 o# @+ S, g, \
! y8 ~/ }# l% o A$ O3 o' O/ O
<head>
% d# I# p7 `- w7 C1 I# x
; N7 q( }: F9 R8 o! ?8 `5 X<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=gb2312">, Y F ]- Q! p" d. \2 N+ R+ ~
+ o% R/ k" e. f# g: Y1 r7 x
<meta name="GENERATOR" content="Microsoft FrontPage 4.0">
* O3 U1 d" E1 H6 y, Y8 f) S/ e2 z! |( ^' u1 I' w0 c, s8 q# n8 u I
<meta name=" rogId" content="FrontPage.Editor.Document">
3 c4 @/ S0 f0 }' ~
& K: _+ d# A9 V: A( [& v8 R" x<title>中国真空学会2003年活动计划表</title>
6 ]# a+ z7 `0 O4 B! b @) Y
* J3 n; i- ]& [7 R+ e% l0 q: i</head>0 I% O- n8 Y2 M) ]) F
9 x% W, O$ V& j6 u; \! [3 Q W. y% F
; N9 Z# a$ z7 a6 e6 i8 T1 {$ E
) |0 }0 W1 r/ ~, N U! X8 K+ z
<body>8 n" P7 d! y: z7 e- ?9 W, x- V" h
) u4 Z& }+ n4 a3 ?
1 J7 W* p6 U9 }1 A% \, J1 \5 n3 _* n
# z' T/ Q+ Q4 Q! O( G* Z
<table border="0" width="100%">
% y5 a# `7 f0 }
0 _5 w O R! G# @ <tr>8 D8 Z, r& c1 g
' p* J5 H4 N& f. A <td width="100%">
. a7 h$ B+ h* s. I) r7 g
$ n! ~- o9 d, r <p align="center"></td>4 X; O* D1 p: m; W: @0 z
0 y! C8 o u; V4 s3 v </tr>
) ]4 o" `( @" N* `" d% o9 G; ]
) S3 b/ P3 g5 E/ [: U <tr>
9 w0 {/ y9 J, p' z U- n* H. N. `2 c' H0 H% b
<td width="100%"></td>; H- g+ j2 f( ~/ t1 f" m6 S# \
5 p- g- x. x- s7 ?# F
</tr>
$ w2 P0 T$ e v' w* H8 {* T/ w4 X* k. w
<tr>
8 c1 c/ m6 \( P8 F) G \9 M( L4 }
<td width="100%" align="center">% k1 q; ?: Y! K) o9 @+ d, x
# b$ I) d: x; c) w <p style="line-height: 150%" align="left"><font size="2"> 5 O+ b; X, o4 J2 i' L L3 V
$ ^* O$ U; I9 j( g' `8 ]
根据近期和将来新型任务的特殊要求,需要在射频介质基体上研制耐高温,高可靠的金属膜层.为此,我们参考了国内外最新成膜和表面优化技术,结合我闪多年的实践经验,进行了专门立题和方案论证,开展了成膜技术研究.本文介绍了该题目的研究目的,机理分析,各种成膜技术的特点,还介绍了实现 % s; P6 W) v* X! ], r7 |
4 c6 _& A2 o2 p: Q9 K1 V; ?! H
一体化要解决的关键技术,有关参数和广泛的使用价值.</font></td>6 a. l9 `" w; H/ P+ g! k4 {
3 y" U/ ]) m4 L) X
</tr>2 @- n' B% f0 L" \
+ V1 O% M. e# n6 ~ <tr>1 X+ A* g9 ^0 M7 ?
4 b! g6 C" ]) y3 L4 H5 Z <td width="100%"></td>" b* E+ w- R1 s. y3 ]" Q! D. f, ^4 f. O
. ~3 @- M* p1 m' G) {) j </tr>
) M% W% Y3 J/ w! M9 ^
' `) }$ U: J( k: }9 H) h: N4 Y5 s" ]</table>1 P; e- ~* |& I# N
" U0 i$ a7 {3 J, F! S& }1 e; n( C9 n2 R' \+ b0 M
% d! [0 ]- f( L6 B</body>- n0 K+ u. e, q, I
" J l: @/ Q" e7 @
3 @* b5 ~1 `6 n% H9 B7 H) D; Q* E9 D5 r
</html>- n# _5 r3 W+ E s @( u l6 r% @
) c* `7 s& O7 v& t! z# \
6 X: N+ a* I; W7 F8 J3 Y% g5 M& t' P* S& _8 Y# ?0 ^) p" |
</td>
+ W/ u) j" |( w2 U$ r
1 l" x6 _1 {9 h8 K3 S" x </tr>
2 i# f6 w4 }) m, n Y0 K" S0 v# T8 T8 c+ M2 v7 H3 p0 {0 W& |
<tr> 1 F4 i f# l" }5 U7 {" Z1 x0 F
5 t' W$ S. T7 j/ L! k8 f/ ]% Y <td> </td>
1 |" z9 k; ]. t& F6 g* u$ I- W) i" `" E+ V1 Q% U' X
</tr>
1 P+ |- L6 k- l) \2 h$ h2 M* b; L. R4 ^
<tr> |
|