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磁控溅射沉积纳米结构银薄膜及其表征

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发表于 2006-8-24 01:23:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
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$ E# C! T( B- }9 F1 s6 F            <font size="2">   近年来,由于纳米金属颗粒Ag及Au等的特殊光电特性,及Ag及Au的高稳定性,可望子成龙将制备的Ag及Au量子点应用地单势垒、多势垒量子器件,所以纳米尺度金属Ag和Au的制备、结构、特性和表征等的研究受到广泛关注。本文通过对磁控溅射方法沉积薄膜工艺参数的选择和控制,在石英玻璃、单晶硅和高定向热解石墨上沉积出了纳米颗粒银膜。应用扫描探针显微镜(SPM)观察了不同厚度的Ag膜颗粒尺寸及其分布情况,结果证明Ag颗粒的大小在几个纳米至50纳米之间;紫外-可见-世面近红外透射光谱没量证明随Ag粒子的尺寸的增大,由纳米尺度效应引起Ag的等离子体吸收峰的红移逐渐增大,结合Maxwell-Garnett定理讨论了颗粒大小对等离子体吸收峰约移的影响。对纳米Ag粒子薄膜的方块电阻的测量表明,随着膜厚的增加,纳米Ag粒子薄膜的方块电阻呈半对数线性关系。</font></td>& H* \0 n- I1 A- F1 @  |& w

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