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. q& Q0 R5 E7 n<title>真空镀膜机的操作系统中</title>
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<p style="line-height: 150%"><font size="2">真空镀膜机的操作系统中,最关键最直接的部份首推膜厚监控系统.而当今各厂家所使用的镀膜机监控系统据吾个人所知,不外以下三种: </font></p>0 g# S3 r; I$ J+ K# M6 t) g
: Y4 w& O5 y* E( _<p style="line-height: 150%"><font size="2">一,微电脑数控式.利用微电脑设定来控制膜料的输出功率与输出量.此方法操作起来最为简捷明了所镀的膜厚也最为均匀. <br>( G- Y/ v0 Z' A
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缺点:无法测得真实的膜厚记录,故此方法一般仅用于溅镀机. </font></p>* P9 m# P: `4 G7 ]4 o" x5 M
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<p style="line-height: 150%"><font size="2">二,水晶振动子式.一般采用二个或更多(以备不测),用此方法所测得结果较准确.但因其本身非常敏感,故极易受外界因素影响. </font></p>2 Y8 N N! ?, o& t8 h$ a0 f, P
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<p style="line-height: 150%"><font size="2">三,光电式.一般采用蓝光玻璃.因其本身一块即可分成几部份使用,故一般只备用一个玻璃槽即可.用此方法测得结果较为稳定. </font></p>' S* P5 D+ Z4 C( g& F
7 v% \+ m9 \8 c6 n. K<p style="line-height: 150%"><font size="2"> 不过现在好象又有一种新的监控系统,是利用数控与光电相结合式的,相信其会给我们带来更为准确便捷直观的一种新的革命.
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发表于 2006-8-24 01:22:04
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