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韩国K-MAC (株) 公司和附属韩国物理性质分析研究所主要开发生产具有高科技含量的物理化学分析仪器和应用仪器。仪器的适用范围有半导体,医疗,环境及工程监控等。 公司还通过表面和构造分析服务,提供半导体等精密部件的研究开发所需的必要数据。 6 n3 Y! f' r5 L8 H5 v6 P
" t: A0 h8 z" @/ L1. 薄膜厚度测量仪ST系列0 H0 A- R; a- v
8 G4 U* T- K; _8 y) n% I& D

3 l3 y) L6 e p, q3 u) i2 g k
- R4 a2 g+ f2 K" f+ ~! F) l S! ~' k3 U
ST2000简介: ^: U9 f: ~. [8 P
产品型号/规格
9 `. ~% o3 B* G4 n+ W1 O M# W) r7 D8 {$ u1 H2 B
The advantage of infinity - corrected optics Optics solve the problem of coma aberration by using a new tube lens+ j9 g" f0 \6 a+ \
( N- H9 y: D2 e; \ ; U; f6 u0 n4 U$ b) ]1 L6 ?
8 T: p, d/ s2 C+ q1 a: W! g6 @Stage Size: 150 x 120mm(70 x 50mm Travel Distance)
7 _6 q8 i1 Q5 c5 M6 C. y5 V- ]
* N2 y! m2 D0 R' H4 k p: w4 BMeasurement Range: 200Å~ 35μ m(Depends on Film Type)# w3 v# P7 S/ [
) I7 Z1 y \3 N. K
Spot size: 20μm Typically
% Z/ ^& {/ X0 O4 V+ J) N' {3 n; T- N; w1 o
' d0 D+ j3 n1 c' D$ A6 EMeasurement Speed: 1 sec/site Typically( f e: Z+ h( X8 _ ^% a
0 d9 _- Y/ l N. J; c+ m& P3 @/ ?& ?
' X, J7 A# C# q9 ]8 W3 c
% L% W. K) b- U! P
Application Areas:
7 z* i" N4 f7 o3 t# } 3 R$ p; F, U- d. O
*Polymers : PVA, PET, PP, PR ...6 I- {, X9 }! E& O5 T
8 K' o3 k- l- s& P/ J' t
*Dielectrics : SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 ..
[8 W" ^9 U5 l6 c" O
3 v; |; R& k; K ]: T*Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
8 Q& q7 K7 Z1 w I) _9 z8 m" b' O* T) z* Y6 T5 |/ d2 ?
*Supporting up to 3 Layers
6 O% O$ o0 S7 M/ ]6 y3 }( U b1 j
*Supporting Backside Reflection$ |2 v8 x" D! L. s8 t$ Q
5 h* y6 q6 V# R0 d) h1 q7 R
优点:! Q6 C3 G# m- a
! T) h1 H4 w; y3 m9 H5 C2 G: M
1) 因为是利用光的方式,所以是非接触式,非破坏式,不会影响实验样品。
$ B3 b' {& d3 a8 K3 M
( d5 b% W( d5 t3 L a' f) O: V2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。
& y0 Z, g2 W- k1 ^, e# k
5 N% A$ V) j/ q5 q3 ?6 {0 U
5 ~1 G2 D1 o1 z- B, d3) 测量迅速正确,且不必为测量而破坏或加工实验样品。6 N" j# U; P4 V5 @
- P3 g5 g$ {- N4 Z+ |! z
4) 可测量 3层以内的多层膜。
H& n. o; n4 a$ B
% \2 h9 Q* g: B& w% t* y5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。
* Z* U8 X* O" H
8 w& ?: b9 }, A/ P$ c6) 产品款式多样,而且也可以根据顾客的要求设计产品。
+ s; @' x1 u) A0 P9 H# L3 o. @: F8 l
9 w9 m# g) v9 r* o/ C" j7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )
' ^2 @+ K% j5 R) a4 U9 q3 ~6 V) c) u m5 e
8)Table Top型, 适用于大学,研究室等
) U, A( A, u6 M2 _ c
0 |# C# C- V5 n2 d9 Y如需了解其余型号,请访问Kmac 公司网站 http://www.kmac.to, 或联系本人email: flei1982@kmac.to
0 A$ M. \$ q2 E6 `1 \
; I. h% U6 F% j2 p[glow=255,red,2]如果有兴趣者,可以提供样品,我们将帮助你免费测试。 [/glow]
2 U8 y4 o$ O- g4 u& p2 ?" C5 M9 N e- Z' I# I! a
6 _+ P7 d, ~; s' n2. 分光光度计系列
, f( \$ f6 W( h6 P型号1: Lab Junior 400-850nm
% J, e T% T2 |8 c4 a5 d4 }# g型号2: Spectra Academy(vis) 400-850nm6 A( o. l# \6 R! z
型号3: Spectra Academy(UV/vis) 200-800nm
# J/ Z, _( |$ l6 q + `( d9 P2 F. C8 M, B4 |
精确并且精致。操作简单,三种模式:吸收/透射模式,反射模式,发光模式,可简单转换。 |
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