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世界顶级高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品,厂商:美国SCI 公司$ ?. a# j! `" W
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可测参数:* l6 ] ?$ D8 t- W' |/ b6 v% N
1)单层或多层薄膜(可达50层),厚度 (<1Å to 250 um)3 w! @4 x: l% S
2)反射率R和透射率T$ \: h8 T6 c4 ~7 i0 v- }* l, |
3)折射率n和吸收系数k& `! {, \4 A; x. }& d! s2 U9 C
4)能带间隙1 m) r0 K' s& y2 t2 ]5 q; D- z
5)表面粗糙度和损伤度% q/ o5 S4 r8 G' ^9 G; B; q3 H
6)成份和结晶程度5 m6 d. C2 e% b1 ~( W- W
$ [4 b8 j, J7 R# g适用于高精度的薄膜量测,广泛应用于OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等。
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联系方式:
. N% r1 Y+ Q' ~- n0 Y- W+ R中电网EMD是从属于信息产业部CCID的从事国际半导体制造设备与材料引进及介绍的专业代理机构; |
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