真空区域的划分

woaidumo

真空区域的划分，根据我国GB3163-82的规定：

: n! ]$ v2 b3 P8 m: ^　低真空 105～102Pa 高真空 10-1～10-5Pa
6 U- U3 a7 d% ?0 n2 G　中真空 102～10-1Pa 超高真空 <10-5Pa  
选择光学薄膜的几点建议
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