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<title>真空泵的性能参数及使用范围-设计参数中华真空设备网</title>
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<td height="32" align="center" valign="bottom"><font style="font-size:16px; font-weight:bold" color="#05006c">真空泵的性能参数及使用范围</font></td>4 K" _1 X5 a# P4 I$ Z, ?- ~: i; r
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6 X2 e i9 k0 A x& b; T$ g: B* k q
<td height="18" align="center" valign="top">信息来源：<font color="#990000">中华真空设备网</font> | 发布时间：<font color="#990000">2006-8-10 10:38:09</font>
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<tr>- d* P1 E5 d0 X
4 M, L1 r' H9 F& U% A; L <td style="font-size:13px;line-height:200%"><H3>一、真空泵的性能参数</H3>5 j. u% O. k+ G4 i
( I) V: `9 Q( J6 m- c$ N
< > <STRONG>1、真空泵的极限压强</STRONG></P>: P- I2 _# s. G$ a! l' d* F, W
% h% R. g; d8 N
<> 泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。</P>
! O l) T6 m( k' Z) B3 p! Z4 l1 W) X) v% X4 Q
<> <STRONG>2、真空泵的抽气速率</STRONG></P>$ Q$ ~/ b1 l3 J8 [/ v
- q' h7 P. a4 d$ g! p0 [
<> 泵的抽气速率单位是m<SUP>3</SUP>/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。</P>
' J; ]9 C" }9 @+ w& x( f3 h4 v0 E4 }7 J- B1 l% ?
<> <STRONG>3、真空泵的抽气量</STRONG></P>
7 b* r9 Q" ]! B5 h' Z
* I5 V* d! h& R& X/ w<> 真空泵的抽气量单位是Pa m<SUP>3</SUP>/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。</P>
! B/ @+ ~) q L
% h5 h# U6 c9 ?# |' j a<> <STRONG>4、真空泵的起动压强</STRONG></P>
- |, N1 C+ M4 l
9 H3 X+ H$ Q2 a$ F<> 真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。</P>7 u- L& U- y- t( A0 O$ X b p' ~
3 p; T) Q0 {/ q! A( m! }5 ]9 H<> <STRONG>5、泵的前级压强</STRONG></P>: R1 M0 E2 @0 P1 a4 H. S
: l/ ^# W3 S7 c) s% X
<> 真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。</P>
Z( w+ W* T) ?7 y- {4 R d
3 {2 {, x9 @) z/ n3 y6 U. W* p<P> <STRONG>6、真空泵的最大前级压强</STRONG></P>: q4 Z" z: O0 e' Y
5 Y; C0 n5 G5 G$ n+ }
<P> 真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。</P>" z# ?$ f6 f; H5 b
8 E( { u! c$ u<P> <STRONG>7、真空泵的最大工作压强</STRONG></P>4 y# ]! r% F$ Y/ L: g
% t+ L6 t% g5 x0 m& Y3 X& w5 g<P> 真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。</P>
y- b9 Z, b: k3 `) a2 _4 r
2 H8 n7 H; Y% o% B<P> <STRONG>8、压缩比</STRONG></P>
- U( @9 e: I! r! |" `, C
* K: i" w4 `8 d+ I, j5 D<P> 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。</P>
8 n f' i1 R7 m* z0 E# @! ~) ?; f/ K, B
3 n* p2 q1 q) Y<P> <STRONG>9、何氏系数</STRONG></P>$ u% r" T2 j3 q3 p3 x
# K/ G8 @. j" o7 H1 N<P> 泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。</P># l/ e9 O- S& x6 X- N
3 x, d" c% t1 g6 m9 F! _+ ^
<P> <STRONG>10、抽速系数</STRONG></P>
) t9 R) D5 q% R/ m$ p
5 A7 Q8 D( ?& b O+ Q) U/ o<P> 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。</P>
$ ]" r6 ^4 y. s3 G2 F$ H
* m+ Q( T3 b8 I5 s) l7 I<P> <STRONG>11、返流率</STRONG></P>- W2 f7 z k- {; B }
( R$ y" c; w( j5 B
<P> 泵的返流率单位是g/cm<SUP>2.</SUP>s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。</P>- z' P2 m; t% T% b I
2 J/ C9 `1 |: _7 u9 ^- j1 h- D<P> <STRONG>12、水蒸气允许量</STRONG></P>) G* V& T w6 C( ~5 ^( e) p$ R
2 ^" \. N8 `' {! G/ \- a
<P> 水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。</P>
% l$ K- r2 B( J, `1 g! D+ v& R
4 l: c2 B# U6 n<P> <STRONG>13、最大允许水蒸气入口压强</STRONG></P>4 j; F0 U) K, w) ^# F8 G/ i
4 z' F2 ` c6 a: k0 I! d
<P> 最大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。</P>
' Y9 z# ~/ B* x( u% |! d
3 E; P. o k: G; e( U/ H- h<H3>二、真空泵的使用范围</H3>
" ~) N, _+ C/ @, D& Z( ^5 x& Z/ W2 M1 ~
<P> 由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值，以供参用。</P>
) C7 o. n8 \3 Q% n0 ^9 I) ?
/ m( W& i) O, W0 y# x8 x' D$ S<P>表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强</P>
" _0 T8 h% S- B, P8 T( Q
" `& h) L) _# B. f4 R k<TABLE borderColor=#999999 cellSpacing=0 cellPadding=3 width="100%" border=1>' I" C. J2 p5 Q
0 s( T5 M# z2 z. ?( S& y @7 _
<TBODY>
9 g; y$ V3 h8 g, O( D: g% |8 I1 r1 _+ c( ^) p V4 s) Q
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% F4 t* h. R! {5 A& C1 b: f8 X
8 N- R$ X6 H- c, T) W$ t0 [<TD height=40><STRONG>真空泵种类<BR></STRONG></TD>
" y$ X% f, U- F* K: V) v1 q
+ r7 A, I2 `* m. s2 j% z$ `" g<TD><STRONG>工作压强范围（Pa）<BR></STRONG></TD>0 r1 X3 F" S6 P
- Z$ O' g u/ a
<TD><STRONG>起动压强（Pa）</STRONG></TD></TR>
8 `" W6 `& Q$ i. f
: |6 r8 P" |5 X4 r8 m1 k+ T<TR>
! ?, P; _% N' L7 X
3 n. y5 {, |( O: _% T- n3 H7 Y<TD vAlign=top>活塞式真空泵<BR></TD>/ `" k1 E; y" Y( D5 Z* B
; L8 h& D' H, o- G
<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP>—1.3×10<SUP>2</SUP></TD>/ {& n! O) Z* X
" [4 M4 ^6 q0 [- m
<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP></TD></TR>% o3 r& X* }" k1 k' A' e: x
& ^; m: A Z) q
<TR>
* d; {+ H5 r) l( t0 F8 `1 }5 q. m% k' p/ j! l
<TD vAlign=top>旋片式真空泵</TD>
. s* N, R1 d- t; V
1 w) p8 k8 U, ^/ I8 t* d" i<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP>—6.7×10<SUP>-</SUP><SUP>1</SUP></TD>
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$ z+ R& i2 F( Y' L<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP></TD></TR>& d5 ^# u. r* t, s1 ?
9 W- b6 ~9 r; N! W
<TR>
' q% s5 R8 U5 c) c1 H
& [$ g. N) ?5 b1 o/ \. A* X9 f- n<TD vAlign=top>水环式真空泵</TD>
5 f/ T- c2 x8 L0 ~: b4 O: H; `! ]% i, X& m! w
<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP>—2.7×10<SUP>3</SUP></TD>
1 K. R) a( f1 c* c5 v" {, X* P7 q6 V) Z% E8 h! J- |
<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP></TD></TR>" Y' w1 \7 s$ Q) J+ _, k9 d
6 q1 X6 \. g7 Z* z% C, h) F
<TR>% `; {7 N; T0 ^) D$ `- s1 A
! ~" M4 e- h5 P+ i: S<TD vAlign=top>罗茨真空泵</TD>
! N. G+ _5 {6 L: U* M T6 ]
1 D6 J2 N) v4 V: Y<TD vAlign=top>1.3×10<SUP>3</SUP>—1.3</TD> {/ N' S3 b' V
0 U3 w* E5 F; E' L6 `
<TD vAlign=top>1.3×10<SUP>3</SUP></TD></TR>
& n9 v& O. i+ `% {; L& _! N B) ?4 \# ~' @& x' X A6 f7 W' G
<TR>
" d* u# ?+ I X! Z5 ^* Q7 |/ K s5 W% W+ M+ J2 A1 _
<TD vAlign=top>涡轮分子泵</TD>6 p1 ]0 V) u/ O4 m. e2 |! S
6 p2 F8 G4 ] l- [<TD vAlign=top>1.3—1.3×10<SUP>-5</SUP></TD>
; p! S+ y( _0 V) o% [! s3 f
& @6 m/ d2 k2 O7 a<TD vAlign=top>1.3</TD></TR>
9 n& C1 V+ D8 f [: ~* P' N9 [* L# [3 A8 C% g
<TR>
$ D$ \1 b! l6 F9 G! F( O8 D$ Y1 n8 G0 p1 U" s
<TD vAlign=top>水蒸气喷射泵</TD>4 G0 A. l0 I6 B4 P2 D
/ N& s, _+ d1 x) R<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP>—1.3×10<SUP>-1</SUP></TD>
% v4 |, R |5 _& J7 Y& } y* Y: y0 O+ Q1 D" U; x
<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP></TD></TR>7 L0 F' u, Y' U! l1 V: ~
5 P# u6 T* x6 S h: Y
<TR>
+ q" Z( F: B+ t. D- o! C/ f* @3 c0 X4 w$ c: e
<TD vAlign=top>油扩散泵</TD>
2 v& d$ Y; i+ ]# X2 T* y$ F* f$ z! e2 Q$ N
<TD vAlign=top>1.3×10<SUP>-2</SUP>—1.3×10<SUP>-7</SUP></TD>, k' ]! B# q- Q( v1 A
. h; A$ l8 p4 i( R+ b
<TD vAlign=top>1.3×10</TD></TR>
" X( G- O8 e$ q& m' l' x) ?8 d+ @2 `3 N/ A' S* O( J
<TR>% N2 C5 q/ ]3 g* x4 E) Q
* n3 a' r: `. t. [<TD vAlign=top>油蒸气喷射泵</TD>
. T# V4 W9 T; ?3 f- ]0 a' B4 d; ~0 `
<TD vAlign=top>1.3×10—1.3×10-<SUP>2</SUP></TD>
& P1 L# O" |( X3 ^8 u
4 \9 C3 a0 O6 {( a$ j L<TD vAlign=top><1.3×10<SUP>5</SUP></TD></TR>
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: Q7 J+ P: H$ w/ }<TR>
8 Y+ a- |" g4 O5 d
* L5 ]9 K. F X- V. j* I<TD vAlign=top>分子筛吸附泵</TD>& q+ `' D; z& w, S! Z8 K. Q* n& J
( f* E- V& y9 ~
<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP>—1.3×10<SUP>-1</SUP></TD>
- n5 d! p v5 t* B% |& x/ D2 x% [9 ^8 x$ j
<TD vAlign=top>1×10<SUP>5</SUP></TD></TR>+ o" B! u/ w1 q# Y
' j. J- g/ L7 `+ A0 k
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0 |0 s( E( h4 K r* k
/ U) U$ X" n* s8 D) b8 O<TD vAlign=top>溅射离子泵</TD>
& N w! L* F$ o) D) V/ V+ T, i) H8 L0 z* }% B/ D( U8 q. |2 c
<TD vAlign=top>1.3×10<SUP>-3</SUP>—1.3×10<SUP>-9</SUP></TD>3 F: p( y7 X8 {# [
& f) J2 ?: s+ a% F: F2 k# R
<TD vAlign=top>6.7×10<SUP>-1</SUP></TD></TR>
& A9 k3 A3 ~% {, ?' o
( r u3 W& D% p5 k<TR>8 @! `- v7 [* Y9 ^! W2 _( ^
; A D- p* r7 v& t3 P/ ^( k3 r- m
<TD vAlign=top>钛升华泵</TD>
- B5 z; [6 S' i/ s [* Q4 q/ }' G, }& Q
<TD vAlign=top>1.3×10<SUP>-2</SUP>—1.3×10<SUP>-9</SUP></TD># j1 P' j, Z( m3 k, l9 I
4 I* }* D1 ]; m w1 [' R U( P
<TD vAlign=top>1.3×10<SUP>-2</SUP></TD></TR>
3 X5 q: F6 A9 G% R
& }; }* T2 U1 q5 t<TR>
: K9 |5 a) {& ]& `. l' |
; ?6 @, ?" |/ h$ }<TD vAlign=top>锆铝吸气剂泵</TD>+ y5 C- j% D% x9 L& Q$ {
) Z8 b9 f) X* K8 |0 X7 j) {
<TD vAlign=top>1.3×10—1.3×10<SUP>-11</SUP></TD>
9 q: t7 i+ {2 P, t3 N$ @! E3 \& ^; a( H; I2 ~
<TD vAlign=top>1.3×10</TD></TR>* O8 ^! q1 o% J
# t5 \7 a0 R7 E& L" V0 T- n<TR>: m1 I1 p0 E3 C4 C0 e" `# H
, v. f" [8 J* m# j4 X% i7 {" r6 [( _<TD vAlign=top>低温泵</TD>( S8 Q5 s* |; F- f+ k; T
/ t* b B/ ?; A4 s) ^<TD vAlign=top>1.3—1.3×10<SUP>-11</SUP></TD>: y2 X( G. y4 Z1 o8 h& W8 C
( V7 c3 M6 E& c" k( ~# l7 y# O/ b- D<TD vAlign=top>1.3—1.3×10<SUP>-1</SUP></TD></TR></TBODY></TABLE></td> v! W% {. ^$ A+ K( G; \
: X. T' d" W) g" {
</tr>& q# L* Z, a, m) e
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发表于 2006-8-16 19:22:57
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