低温泵在光学镀膜中的应用

gds · 发表于 2009-9-13 22:40:21

低温泵再生一次，从充气到降到工作温度，大约4－5小时，正常工作只要不断电，应该很方便的
扩散泵每次运行都需要先加热。。最怕返油了，我们这里扩散泵加polycold,可能是国产的原因，才使用一年就有返油的现象了。

tfc3.5 · 发表于 2009-9-14 03:06:01

只要是扩散泵就会返油，只是多少的问题。

huoshan521 · 发表于 2009-9-14 03:32:29

不错哦，谢谢！

karl-ji · 发表于 2009-11-17 20:13:21

美国Brooks的CT, On-board , On-board IS, 如有兴趣可免费咨询 0755 -82503455

damao · 发表于 2009-11-23 20:48:41

目前扩散泵其实用的挺好的

buowen589 · 发表于 2010-9-23 21:16:01

认真学习一下。

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