用过MDC-360C膜厚控制仪么？告之，谢谢

txlyaya · 发表于 2006-8-10 06:11:20

电子束蒸发镀膜设备，配了MAXTEK MDC-360C 晶控膜厚设备

镀纯铝，工艺相同，但每次测量的膜厚和晶体显示膜厚不同，没有一定比例关系。

如设定1500A，早上为1700A，下午就只有750A，工艺条件什么都没有变化，

唉，哪里出了问题哦？

帮忙分析，谢谢！

txlyaya@sohu.com

txlyaya · 发表于 2006-8-11 05:52:27

为什么总是没有人回我贴

xiaoweiqiu · 发表于 2006-8-21 07:15:44

看看水温。

dinghaiyi · 发表于 2006-9-23 05:51:38

１．下午镀膜过程中是否一直看着晶控仪，
２．其膜厚显示达到１５００后是否自动结束蒸镀，
３．晶控片是否是原装的新片，下午开始镀膜时ＣＲＹＳＴＡＬ　ＨＥＡＬＴＨ是多少呢？

shishi77521 · 发表于 2007-2-8 05:09:17

跟晶控片的寿命有关

ali · 发表于 2007-2-9 10:10:21

TOOLING 是不是没做准？

lytchrislyt · 发表于 2007-2-13 22:49:42

膜厚检测仪检测的厚度准嘛？

tfca · 发表于 2007-2-26 04:53:19

al镀膜比较敏感,特别是用晶控,晶控仪方面可以每次换一片,相对稳定.+恒流+定时

yiyi2005 · 发表于 2007-3-12 00:37:02

最近也正在寻找合适的膜厚检测设备，大家有什么建议？

hhggiu · 发表于 2007-7-8 22:00:20

用ＩＣ５吧，或用光学监控好咯！

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