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用过MDC-360C膜厚控制仪么?告之,谢谢

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发表于 2006-8-9 22:11:20 | 显示全部楼层 |阅读模式
电子束蒸发镀膜设备,配了MAXTEK MDC-360C 晶控膜厚设备/ o5 ?& `* I, K4 E& Q, ^. S" ~

2 O) _. J* h" C* z- T镀纯铝,工艺相同,但每次测量的膜厚和晶体显示膜厚不同,没有一定比例关系。
3 e% e8 V9 j; Q3 W' f9 o, f4 L6 W! t! r+ z0 G! i
如设定1500A,早上为1700A,下午就只有750A,工艺条件什么都没有变化,
, V$ D2 E! j% C+ B6 W7 l5 f! o' o# V9 i" |
唉,哪里出了问题哦?
  W5 a1 Z4 r, i& Z+ V; j( o5 @+ g3 e1 |, S; P, Z
帮忙分析,谢谢!" \# z8 D& r$ y+ L

% I7 ~" ]" _. W4 S# Itxlyaya@sohu.com

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 楼主| 发表于 2006-8-10 21:52:27 | 显示全部楼层
为什么总是没有人回我贴
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发表于 2006-8-20 23:15:44 | 显示全部楼层
看看水温。
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发表于 2006-9-22 21:51:38 | 显示全部楼层
1.下午镀膜过程中是否一直看着晶控仪,# z) X! h: e- ?
2.其膜厚显示达到1500后是否自动结束蒸镀,; ^! \8 `7 B( Q6 e! o" f+ x/ h
3.晶控片是否是原装的新片,下午开始镀膜时CRYSTAL HEALTH是多少呢?
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QQ
发表于 2007-2-7 21:09:17 | 显示全部楼层
跟晶控片的寿命有关
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发表于 2007-2-9 02:10:21 | 显示全部楼层
TOOLING 是不是没做准?
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发表于 2007-2-13 14:49:42 | 显示全部楼层
膜厚检测仪检测的厚度准嘛?
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发表于 2007-2-25 20:53:19 | 显示全部楼层
al镀膜比较敏感,特别是用晶控,晶控仪方面可以每次换一片,相对稳定.+恒流+定时
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发表于 2007-3-11 16:37:02 | 显示全部楼层
最近也正在寻找合适的膜厚检测设备,大家有什么建议?
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发表于 2007-7-8 14:00:20 | 显示全部楼层
用IC5吧,或用光学监控好咯!
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