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用过MDC-360C膜厚控制仪么?告之,谢谢

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发表于 2006-8-9 22:11:20 | 显示全部楼层 |阅读模式
电子束蒸发镀膜设备,配了MAXTEK MDC-360C 晶控膜厚设备  l5 d* H7 ]. {; q& y# m' m

5 D6 [; M* G, Z镀纯铝,工艺相同,但每次测量的膜厚和晶体显示膜厚不同,没有一定比例关系。: ~( _1 i) K# }) o& A/ K
+ [3 C" p. }0 O& k" |( b" ^) y
如设定1500A,早上为1700A,下午就只有750A,工艺条件什么都没有变化,* D# P( w8 m1 v  B

. Z( d/ B, J* o9 u2 \; J唉,哪里出了问题哦?
2 G! ^1 `  I2 \$ i' u% Q2 o8 Q1 u7 k, q4 f. J
帮忙分析,谢谢!: Y& G, M  r3 T7 S, `7 Z3 F0 P
$ A4 _% z* ?% `
txlyaya@sohu.com

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 楼主| 发表于 2006-8-10 21:52:27 | 显示全部楼层
为什么总是没有人回我贴
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发表于 2006-8-20 23:15:44 | 显示全部楼层
看看水温。
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发表于 2006-9-22 21:51:38 | 显示全部楼层
1.下午镀膜过程中是否一直看着晶控仪,
$ m* @. o  n6 Q( o2.其膜厚显示达到1500后是否自动结束蒸镀,
- W, m  H# a2 p' Q: M: r3.晶控片是否是原装的新片,下午开始镀膜时CRYSTAL HEALTH是多少呢?
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QQ
发表于 2007-2-7 21:09:17 | 显示全部楼层
跟晶控片的寿命有关
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发表于 2007-2-9 02:10:21 | 显示全部楼层
TOOLING 是不是没做准?
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发表于 2007-2-13 14:49:42 | 显示全部楼层
膜厚检测仪检测的厚度准嘛?
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发表于 2007-2-25 20:53:19 | 显示全部楼层
al镀膜比较敏感,特别是用晶控,晶控仪方面可以每次换一片,相对稳定.+恒流+定时
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发表于 2007-3-11 16:37:02 | 显示全部楼层
最近也正在寻找合适的膜厚检测设备,大家有什么建议?
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发表于 2007-7-8 14:00:20 | 显示全部楼层
用IC5吧,或用光学监控好咯!
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