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[求助] 我是新手 问个小问题

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发表于 2006-8-6 02:29:06 | 显示全部楼层 |阅读模式
磁控溅射 镀钛 基片是玻璃 温度300  5 y4 n5 l$ d  T1 W  A) W- ~$ |& i

. B4 O/ L8 s! ]) {9 {- E4 W6 [& i基片通过碱 酸 超声波 烘烤等工序清洗" J, Z( N; [7 v' {% Z7 h  ^
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镀出来的膜层不牢固 常时间放置 会出现脱膜现象 可能是什么问题啊?该如何解决?

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发表于 2006-8-17 01:20:10 | 显示全部楼层
鍍后烘烤時間長一點試試
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发表于 2006-8-19 01:11:59 | 显示全部楼层
1\先确认超声波清洗是否清洗干净,镜片表面的酸碱有否彻底清除.
# l+ g2 _3 A4 F- Q0 N2\镀膜前建议增加离子源清洗时间.
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发表于 2006-8-26 20:30:43 | 显示全部楼层
温度300能否再提高点?
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发表于 2006-8-29 13:59:09 | 显示全部楼层
我想膜层结合力跟很多因素有关系:1.前处理;2.镀膜前的离子清洗;3.过渡层的设置(膜系);所以说,你必须提供更详细的资料,才好分析,我们可以交流.QQ:36496431,MSN:caodahua1980@hotmail.com
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发表于 2007-7-8 14:02:44 | 显示全部楼层
我也可以和你交流下QQ89364038
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发表于 2007-8-15 13:28:21 | 显示全部楼层
753395468 可以探讨一下
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发表于 2009-12-25 04:26:00 | 显示全部楼层
镀膜前的离子清洗
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发表于 2013-11-8 17:31:49 | 显示全部楼层
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