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[求助] 我是新手 问个小问题

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发表于 2006-8-6 10:29:06 | 显示全部楼层 |阅读模式
磁控溅射 镀钛 基片是玻璃 温度300  8 l* g7 F8 v( U9 ^3 J

' s$ t+ z9 `: K+ ]+ K基片通过碱 酸 超声波 烘烤等工序清洗
8 U0 ]: {  O8 p0 X$ n5 d1 e
/ O2 K6 Z% q9 D2 ]) k镀出来的膜层不牢固 常时间放置 会出现脱膜现象 可能是什么问题啊?该如何解决?
发表于 2006-8-17 09:20:10 | 显示全部楼层
鍍后烘烤時間長一點試試
发表于 2006-8-19 09:11:59 | 显示全部楼层
1\先确认超声波清洗是否清洗干净,镜片表面的酸碱有否彻底清除., B" ~9 z; x: J5 W" v9 ?2 F: X
2\镀膜前建议增加离子源清洗时间.

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发表于 2006-8-27 04:30:43 | 显示全部楼层
温度300能否再提高点?
发表于 2006-8-29 21:59:09 | 显示全部楼层
我想膜层结合力跟很多因素有关系:1.前处理;2.镀膜前的离子清洗;3.过渡层的设置(膜系);所以说,你必须提供更详细的资料,才好分析,我们可以交流.QQ:36496431,MSN:caodahua1980@hotmail.com

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xx_912 + 5

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发表于 2007-7-8 22:02:44 | 显示全部楼层
我也可以和你交流下QQ89364038
发表于 2007-8-15 21:28:21 | 显示全部楼层
753395468 可以探讨一下
发表于 2009-12-25 12:26:00 | 显示全部楼层
镀膜前的离子清洗
发表于 2013-11-9 01:31:49 | 显示全部楼层
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